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1. (WO2014129514) 露光光学系、露光ヘッドおよび露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/129514    国際出願番号:    PCT/JP2014/053951
国際公開日: 28.08.2014 国際出願日: 19.02.2014
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 3/00 (2006.01), G02B 3/02 (2006.01), G02B 13/18 (2006.01), G02B 13/24 (2006.01), G02B 27/18 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: ADTEC ENGINEERING CO. LTD. [JP/JP]; 5-1 Toranomon 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
発明者: KOMORI, Kazuki; (JP)
代理人: NAKAJIMA, Jun; TAIYO, NAKAJIMA & KATO, Seventh Floor, HK-Shinjuku Bldg., 3-17, Shinjuku 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2013-033344 22.02.2013 JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE OPTICS, EXPOSURE HEAD, AND EXPOSURE DEVICE
(FR) OPTIQUES D'EXPOSITION, TÊTE D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 露光光学系、露光ヘッドおよび露光装置
要約: front page image
(EN)Provided are: exposure optics provided with a microlens array that corrects aberrations in focusing optics; an exposure head; and an exposure device. These exposure optics (100) are provided with the following: a spatial light-modulation element (34) containing an array of pixel units (74) that modulate light (B) from a light source; a microlens array (64) in which microlenses (64a) that concentrate the light modulated by the spatial light-modulation element (34) are arrayed in a single plane; first focusing optics (52) that focus the light (B) modulated by the spatial light-modulation element (34) onto the microlens array (64); and second focusing optics (58) that focus the light (B) concentrated by the microlens array (64) onto a photosensitive material (P). The microlens array (64) contains a plurality of types of microlenses (64a) that have different shapes in accordance with the distances thereof from the optical axis (58c) of the second focusing optics (58).
(FR)La présente invention porte sur : des optiques d'exposition pourvus d'un réseau de microlentilles qui corrige des aberrations dans des optiques de focalisation ; une tête d'exposition ; et un dispositif d'exposition. Les optiques (100) d'exposition de la présente invention comportent ce qui suit : un élément (34) de modulation spatiale de lumière contenant un réseau d'unités (74) de pixel qui modulent une lumière (B) provenant d'une source lumineuse ; un réseau (64) de microlentilles dans lequel des microlentilles (64a) qui concentrent la lumière modulée par l'élément (34) de modulation spatiale de lumière sont agencées en réseau dans un plan unique ; de premières optiques (52) de focalisation qui focalisent la lumière (B) modulée par l'élément (34) de modulation spatiale de lumière sur le réseau (64) de microlentilles ; et de secondes optiques (58) de focalisation qui focalisent la lumière (B) concentrée par le réseau (64) de microlentilles sur une matière (P) photosensible. Le réseau (64) de microlentilles contient une pluralité de types de microlentilles (64a) qui ont différentes formes selon les distances de celles-ci depuis l'axe (58c) optique des secondes optiques (58) de focalisation.
(JA) 結像光学系の収差を補正するマイクロレンズアレイを備えた露光光学系、露光ヘッドおよび露光装置を提供する。光源からの光Bを変調する画素部74が配列された空間光変調素子34と、前記空間光変調素子34で変調された光を集光するマイクロレンズ64aが平面上に配列されたマイクロレンズアレイ64と、前記空間光変調素子34により変調された光Bを前記マイクロレンズアレイ64に結像する第1の結像光学系52と、前記マイクロレンズアレイ64で集光された光Bを感光材料P上に結像する第2の結像光学系58と、を備え、前記マイクロレンズアレイ64は、前記第2の結像光学系58の光軸58cからの距離に応じて、形状が異なる複数種類のマイクロレンズ64aが配列された露光光学系100。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)