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1. WO2014129358 - 透明板状体表面検査用撮像システム

公開番号 WO/2014/129358
公開日 28.08.2014
国際出願番号 PCT/JP2014/053212
国際出願日 12.02.2014
IPC
G01B 11/30 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
30表面の粗さまたは不規則性測定用
G01B 11/24 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
G01N 21/896 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
89動いている材料,例.紙・織物,の中の
892調査されるきず,欠陥,または対象物の特質に特徴付けられるもの
896透明材料の内部または表面の光学的欠陥,例.歪・表面のきず
CPC
G01B 11/245
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
245using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
G01B 11/2522
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2518Projection by scanning of the object
2522the position of the object changing and being recorded
G01B 11/306
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
306for measuring evenness
G01N 21/896
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
892characterised by the flaw, defect or object feature examined
896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws ; in conveyed flat sheet or rod
出願人
  • 旭硝子株式会社 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 木村 友紀 KIMURA Tomonori
  • 金子 静則 KANEKO Shizunori
  • 有田 祐介 ARITA Yusuke
代理人
  • 濱田 百合子 HAMADA Yuriko
優先権情報
2013-03006119.02.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) IMAGING SYSTEM FOR TRANSPARENT PLATE SURFACE INSPECTION
(FR) SYSTÈME D'IMAGERIE POUR INSPECTION DE SURFACE DE PLAQUE TRANSPARENTE
(JA) 透明板状体表面検査用撮像システム
要約
(EN)
Provided is an imaging system for transparent plate surface inspection capable of utilizing a phenomenon in which the path of reflected light from the front face and the path of reflected light from the back face separate depending on the plate thickness in the situation where the plane on which the light ray path center for a line sensor camera exists is perpendicular to the transparent plate and the plane is neither parallel nor perpendicular to the transport direction of the transparent plate, and capable of suppressing an increase in the number of mechanisms for providing a water layer on the back side of the transparent plate. A light source (1) is disposed in the direction in which the light ray path that is from the line sensor camera (2) to a visual field (5) and reflected by a glass plate (71) extends, under the condition that the glass plate (71) has no distortions. The direction that the illumination face for the stripe pattern of the light source (1) faces is defined so that the result of projecting the illumination face along the travel direction of the glass plate (71) is a line segment. Moreover, the lines that form the dark portions of the stripe pattern on the illumination face are parallel to the transport direction of the glass plate (71).
(FR)
La présente invention porte sur un système d'imagerie pour inspection de surface de plaque transparente apte à utiliser un phénomène dans lequel le trajet d'une lumière réfléchie provenant de la face avant et le trajet d'une lumière réfléchie provenant de la face arrière se séparent en fonction de l'épaisseur de plaque dans la situation où le plan sur lequel le centre de trajet de rayon lumineux pour une caméra de capteur linéaire existe est perpendiculaire à la plaque transparente et le plan est ni parallèle ni perpendiculaire à la direction de transport de la plaque transparente, et apte à supprimer une augmentation du nombre de mécanismes destinés à disposer une couche d'eau sur le côté arrière de la plaque transparente. Une source (1) lumineuse est disposée dans la direction dans laquelle le trajet de rayon lumineux qui provient de la caméra (2) de capteur linéaire vers un champ (5) visuel et réfléchi par une plaque (71) de verre s'étend, à la condition que la plaque (71) de verre n'ait pas de distorsions. La direction vers laquelle la face d'éclairage pour le motif de bande de la source (1) lumineuse fait face est définie de telle sorte que le résultat de projection de la face d'éclairage le long de la direction de transport de la plaque (71) de verre est un segment linéaire. De plus, les lignes qui forment les parties sombres du motif de bande sur la face d'éclairage sont parallèles à la direction de transport de la plaque (71) de verre.
(JA)
 ラインセンサカメラの光線経路中心が存在する平面が透明板状体と垂直であり、かつその平面を透明板状体の搬送方向と平行にも垂直にもしない場合に、表側の面の反射光の経路と裏側の面の反射光の経路が板厚に依存して分離する現象を利用しつつ、透明板状体の裏側に水層を設けるための機構の数の増加を抑えることができる透明板状体表面検査用撮像システムを提供する。 光源1は、ガラス板71に歪みが生じていないという条件のもとで、ラインセンサカメラ2から視野5に向かう光線経路がガラス板71で反射した延長方向上に配置される。光源1のストライプパターンの照射面の向きは、その照射面をガラス板71の進行方向に沿って射影した結果が線分になるように定められる。また、その照射面でストライプパターンの暗部となる線は、ガラス板71の搬送方向と平行である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報