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1. (WO2014129167) 塗布膜除去装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/129167    国際出願番号:    PCT/JP2014/000792
国際公開日: 28.08.2014 国際出願日: 17.02.2014
IPC:
H05B 33/10 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01)
出願人: TOPPAN PRINTING CO.,LTD. [JP/JP]; 5-1, Taito 1-chome, Taito-ku, Tokyo 1100016 (JP)
発明者: KUBO, Yuji; (JP)
代理人: HIROSE, Hajime; NICHIEI Patent and Trademark Attorneys, Shiroyama Trust Tower 32F, 3-1, Toranomon 4-chome, Minato-ku, Tokyo 1056032 (JP)
優先権情報:
2013-032582 21.02.2013 JP
2013-196929 24.09.2013 JP
発明の名称: (EN) COATED FILM REMOVING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RETRAIT DE FILM REVÊTU
(JA) 塗布膜除去装置
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a coated film removing apparatus that is capable of easily and accurately removing a part of a coated film applied to a substrate. In order to selectively remove a coated film (2) applied on a substrate (1), this coated film removing apparatus is provided with: a removing liquid supply means (4) that discharges a removing liquid (7) for removing the coated film (2) applied to a film formation unneeded region (e1); and a removing liquid recovery means (5) that recovers the removing solution (7). In a state wherein a discharge port (4a) of the removing liquid (7), said discharge port being in the removing liquid supply means (4), and a recovery port (5a) of the removing liquid (7), said recovery port being in the removing liquid recovery means (5), are facing the film formation unneeded region (e1), the removing liquid (7) of a predetermined quantity is discharged merely to the film formation unneeded region (e1) from the removing liquid supply means (4), then, the removing liquid (7) is recovered by means of the removing liquid recovery means (5).
(FR)L'objectif de la présente invention est de fournir un appareil de retrait de film revêtu qui est apte à retirer de manière simple et précise une partie d'un film revêtu appliqué sur un substrat. Afin de retirer de manière sélective un film revêtu (2) appliqué sur un substrat (1), cet appareil de retrait de film revêtu comprend : un moyen d'alimentation en liquide de retrait (4) qui décharge un liquide de retrait (7) pour retirer le film revêtu (2) appliqué sur une région non nécessaire de formation de film (e1) ; et un moyen de récupération de liquide de retrait (5) qui récupère la solution de retrait (7). Dans un état dans lequel un port de décharge (4a) du liquide de retrait (7), ledit port de décharge étant dans le moyen d'alimentation en liquide de retrait (4), et un port de récupération (5a) du liquide de retrait (7), ledit port de récupération étant dans le moyen de récupération de liquide de retrait (5), sont en regard de la région non nécessaire de formation de film (e1), le liquide de retrait (7) d'une quantité prédéterminée est déchargé uniquement sur la région non nécessaire de formation de film (e1) à partir du moyen d'alimentation en liquide de retrait (4), puis, le liquide de retrait est récupéré à l'aide du moyen de récupération de liquide de retrait (5).
(JA) 基板に塗布された塗布膜の一部を、容易且つ的確に除去することが可能な塗布膜除去装置を提供することを目的とする。基板(1)上の塗布膜(2)を選択的に除去する。そのために、成膜不要領域(e1)の塗布膜(2)を除去するための除去液(7)を吐出する除去液供給手段(4)と、除去液(7)を回収する除去液回収手段(5)と、を設け、除去液供給手段(4)の除去液(7)の吐出口(4a)および除去液回収手段(5)の除去液(7)の回収口(5a)を成膜不要領域(e1)に対向させた状態で、成膜不要領域(e1)にのみ除去液供給手段(4)から所定量の除去液(7)を吐出させ、その後、除去液(7)を除去液回収手段(5)で回収する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)