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1. (WO2014129061) 成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/129061    国際出願番号:    PCT/JP2013/083623
国際公開日: 28.08.2014 国際出願日: 16.12.2013
IPC:
C23C 24/04 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 16-5, Konan 2-Chome, Minato-ku, Tokyo 1088215 (JP)
発明者: SAITO Makoto; (JP).
HIRAMATSU Noriyuki; (JP).
FUKUSHIMA Akira; (JP)
代理人: KUDOH Minoru; 6F, KADOYA BLDG., 24-10, Minamiooi 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1400013 (JP)
優先権情報:
2013-030371 19.02.2013 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法
要約: front page image
(EN)A film forming method including: a step (A) in which wall members are put against the rim of a film-formation target surface of a base material; a step (B) in which a film is formed by cold spraying, on the film-formation target surface; and a step (C) in which, once a desired thickness has been reached for the film formed upon the film-formation target surface, the wall members are removed. During the process of increasing the thickness of the film by using cold spraying, the side surfaces of the generated film are prevented from forming an inclined surface shape.
(FR)L'invention concerne un procédé de formation de film comprenant : une étape (A) dans laquelle des éléments de paroi sont placés contre le col d'une surface de cible de formation de film d'un matériau de base ; une étape (B) dans laquelle un film est formé par pulvérisation à froid, sur la surface de cible de formation de film ; et une étape (C) dans laquelle, une fois qu'une épaisseur désirée a été atteinte pour le film formé sur la surface de cible de formation de film, les éléments de paroi sont retirés. Durant le traitement d'augmentation de l'épaisseur du film par utilisation d'une pulvérisation à froid, les surfaces latérales du film généré sont empêchées de former une forme de surface inclinée.
(JA) 成膜方法は、(A)基材の被成膜対象面のへりに壁部材を当てるステップと、(B)被成膜対象面に対してコールドスプレー法により成膜を行うステップと、(C)被成膜対象面上に形成された膜の厚さが所望の膜厚になった後、壁部材を除去するステップと、を含む。コールドスプレーを利用した厚膜化において、生成膜の側面が斜面状になることが防止される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)