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1. (WO2014128983) 成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/128983    国際出願番号:    PCT/JP2013/063896
国際公開日: 28.08.2014 国際出願日: 20.05.2013
IPC:
C23C 24/04 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 16-5, Konan 2-Chome, Minato-ku, Tokyo 1088215 (JP)
発明者: SAITO Makoto; (JP).
HIRAMATSU Noriyuki; (JP).
FUKUSHIMA Akira; (JP)
代理人: KUDOH Minoru; 6F, KADOYA BLDG., 24-10, Minamiooi 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1400013 (JP)
優先権情報:
2013-030404 19.02.2013 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法
要約: front page image
(EN)A film forming method having a step in which a unit film forming process is repeated until the thickness of a film formed upon a film-forming target reaches a desired film thickness. The unit film forming process includes: a step (A) in which film is formed on the film-forming target, by cold spraying, while heating the film-forming target by using a heater; and a step (B) in which, after film forming, the film-forming target is heat treated.
(FR)L'invention concerne un procédé de formation de film ayant une étape dans laquelle un processus de formation de film d'unité est répété jusqu'à ce que l'épaisseur d'un film formé sur une cible de formation de film atteigne une épaisseur de film désirée. Le processus de formation de film d'unité comprend : une étape (A) dans laquelle un film est formé sur la cible de formation de film, par pulvérisation à froid, tout en chauffant la cible de formation de film par utilisation d'un chauffage ; et une étape (B) dans laquelle, après la formation de film, la cible de formation de film est traitée thermiquement.
(JA) 成膜方法は、被成膜対象上に形成される膜の厚さが所望の膜厚になるまで、単位成膜処理を繰り返し実行するステップを有する。単位成膜処理は、(A)被成膜対象をヒータで熱しながら、コールドスプレー法により被成膜対象に対して成膜を行うステップと、(B)成膜後の被成膜対象に対して熱処理を施すステップと、を含む。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)