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1. (WO2014128848) 有機薄膜パターン形成装置および形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/128848    国際出願番号:    PCT/JP2013/054078
国際公開日: 28.08.2014 国際出願日: 20.02.2013
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H05H 7/04 (2006.01), H05H 7/10 (2006.01)
出願人: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP)
発明者: UEDA Kazuhiro; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING AND DEVICE FOR FORMING ORGANIC THIN FILM PATTERN
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION ET DISPOSITIF DE FORMATION D'UN MOTIF À FILM MINCE ORGANIQUE
(JA) 有機薄膜パターン形成装置および形成方法
要約: front page image
(EN)As patterning techniques for functional organic thin films, there is the printing method and the μCP method. However, it has been difficult to pattern a minute pattern on a large substrate and to pattern onto a transfer substrate having surface bumpiness. Therefore, provided is a technique for patterning a minute pattern on a large substrate at a functional organic molecule thin film using electromagnetic waves such as X-rays. An organic thin film is patterned by means of a device configuration provided with: an electron beam source (1); an electron acceleration tube (5) for accelerating the electron beam generated by the electron beam source; an undulator magnet array (9); and a bending electromagnet (8) between the electron acceleration tube and the undulator magnet array and for controlling the generation and propagation direction of electromagnetic waves arising in the undulator magnet array.
(FR)L'invention concerne les techniques de dessin pour des films minces organiques fonctionnels, parmi lesquelles il existe la méthode par impression et la méthode μCP. Il s'est cependant avéré difficile de dessiner un motif très petit sur un grand substrat et de dessiner sur un substrat de transfert qui présente des aspérités en surface. Par conséquent, l'invention réalise une technique pour dessiner un motif très petit sur un substrat de grande taille au niveau d'un film mince moléculaire organique fonctionnel en utilisant des ondes électromagnétiques telles que des rayons X. Un film mince organique est dessiné à l'aide d'une configuration de dispositif comprenant : une source de faisceau électronique (1) ; un tube d'accélération d'électrons (5) pour accélérer le faisceau électronique généré par la source de faisceau électronique ; un réseau d'aimants ondulateurs (9) ; et un élecroaimant de déviation (8) entre le tube d'accélération d'électrons et le réseau d'aimants ondulateurs et pour commander la génération et le sens de propagation des ondes électromagnétiques produites dans le réseau d'aimants ondulateurs.
(JA) 機能性有機薄膜のパターンニング技術としては印刷法,μCP法がある。しかし,大型基板に微細パターンをパターンニングする,表面が凹凸している被転写基板上にパターンニングすることは困難である。そこで,X線等の電磁波を利用し,機能性有機分子薄膜に大型基板に微細パターンをパターンニングする技術を提供する。 電子線源1と、電子線源から発生する電子線を加速するための電子加速管5と、アンジュレータ磁石列9と、前記電子加速管と前記アンジュレータ磁石列との間に、前記アンジュレータ磁石列中で発生する電磁波の発生,進行方向を制御する偏向電磁石8とを設けた装置構成とし、有機薄膜をパターニングする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)