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1. (WO2014125591) 微細パターニング用表面化学処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/125591    国際出願番号:    PCT/JP2013/053492
国際公開日: 21.08.2014 国際出願日: 14.02.2013
IPC:
B05C 5/02 (2006.01), B01J 19/00 (2006.01), B05B 15/04 (2006.01)
出願人: SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-city, Kyoto 6048511 (JP).
TOKYO METROPOLITAN UNIVERSITY [JP/JP]; 3-1, Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630926 (JP).
WASEDA UNIVERSITY [JP/JP]; 104, Totsukamachi 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1698050 (JP)
発明者: UCHIYAMA, Katsumi; (JP).
NAKAJIMA, Hizuru; (JP).
YANG, Ming; (JP).
ZENG, Hulie; (JP).
SUGAHARA, Yoshiyuki; (JP).
NISHIMOTO, Takahiro; (JP)
代理人: KASHIMA, Yoshio; c/o SHINSEI & Co., 409 Yuni Higashi-Umeda, 7-2, Minami Ogi-machi, Kita-ku, Osaka-city, Osaka 5300052 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SURFACE CHEMICAL TREATMENT APPARATUS FOR FINE PATTERNING
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE POUR LA FORMATION DE MOTIFS FINS
(JA) 微細パターニング用表面化学処理装置
要約: front page image
(EN)Provided is a surface chemical treatment apparatus for fine patterning that: improves the efficiency of immobilizing molecules, which are dissolved as a solute (32) in a solution (31), on a solid-phase surface (1); and is capable of micronizing an immobilized area by reliably suppressing the spread of the solution (31) at the solid-phase surface (1). This apparatus is configured to be provided with: a first conduit (11), one end of which is open (11a), and the other end of which communicates with a liquid supply means (14); and a second conduit (12), one end of which is open (12a) so as to surround the opening (11a) of the first conduit (11), and the other end of which communicates with a liquid suction means (16). The apparatus is further configured to be provided with a moving mechanism (21) that moves the openings (11a, 12a) of the first and second conduits (11, 12) relative to the solid-phase surface (1), which is a patterning target. By suctioning the patterning solution (31) from the opening (12a) of the second conduit (12), which exists around the opening (11a), together with surrounding liquid phase (2) or gas phase, while discharging the solution (31) from the opening (11a) of the first conduit (11), the solution (31) is prevented from seeping in all directions, enabling surface chemical treatment in fine patterns to be achieved.
(FR)L'invention porte sur un appareil de traitement chimique de surface pour la formation de motifs fins, qui améliore l'efficacité de l'immobilisation de molécules, qui sont dissoutes en tant que soluté (32) dans une solution (31), sur une surface de phase solide (1) ; et qui peut microniser une zone immobilisée par suppression de façon fiable de l'étalement de la solution (31) à la surface de la phase solide (1). Cet appareil est conçu pour être doté de : une première conduite (11), dont une extrémité est ouverte (11a) et dont l'autre extrémité communique avec un moyen (14) d'apport de liquide ; et une seconde conduite (12), dont une extrémité est ouverte (12a) afin d'entourer l'ouverture (11a) de la première conduite (11) et dont l'autre extrémité communique avec un moyen (16) d'aspiration de liquide. L'appareil est en outre conçu pour être doté d'un mécanisme de déplacement (21) qui déplace les ouvertures (11a, 12a) des première et seconde conduites (11, 12) par rapport à la surface de la phase solide (1), qui est une cible de formation de motifs. En aspirant la solution de formation de motifs (31) par l'ouverture (12a) de la seconde conduite (12), qui se situe autour de l'ouverture (11a), conjointement avec de la phase liquide (2) ou phase gazeuse environnante, tout en faisant sortir la solution (31) par l'ouverture (11a) de la première conduite (11), on empêche la solution (31) de se répandre dans toutes les directions, ce qui permet de réaliser un traitement chimique de surface en motifs fins.
(JA) 溶液(31)中に溶質(32)として溶解している分子の固相表面(1)への固定化の効率を向上させ、かつ、固相表面(1)での溶液(31)の広がりを確実に抑制して、固定化面積の微小化を可能とする微細パターニング用表面化学処理装置を提供する。本発明の装置は、一端が開口(11a)し、他端が液供給手段(14)に連通する第1の管路(11)と、その第1の管路(11)の開口(11a)の周りを囲むように一端が開口(12a)し、他端が液吸引手段(16)に連通する第2の管路(12)を備えるとともに、これらの第1、第2の管路(11,12)の開口(11a,12a)と、パターニング対象である固相表面(1)とを相対的に移動させる移動機構(21)を備えた構成とし、第1の管路(11)の開口(11a)からパターニング溶液(31)を吐出しながら、その周囲に存在する第2の管路(12)の開口(12a)からその溶液(31)を周囲の液相(2)もしくは気相とともに吸引することで、全方位への溶液(31)の滲みを防止し、微細パターンでの表面化学処理を可能とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)