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1. (WO2014123031) プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/123031    国際出願番号:    PCT/JP2014/051767
国際公開日: 14.08.2014 国際出願日: 28.01.2014
IPC:
G01R 1/073 (2006.01), G01R 1/06 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HIOKI DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 81,Koizumi,Ueda-shi Nagano 3861192 (JP)
発明者: KOBAYASHI, Masashi; (JP)
代理人: SAKAI, Shinji; 3873-1,Higashiterao,Matsushiro-machi,Nagano-shi Nagano 3811225 (JP)
優先権情報:
2013-022184 07.02.2013 JP
発明の名称: (EN) PROBE UNIT, SUBSTRATE INSPECTION DEVICE, AND METHOD FOR ASSEMBLING PROBE UNIT
(FR) UNITÉ DE SONDE, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'ASSEMBLAGE D'UNITÉ DE SONDE
(JA) プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法
要約: front page image
(EN)Through the present invention, the effective buckling length of a probe can easily be changed while keeping manufacturing cost low. The present invention is provided with a plurality of probes (11a), a support part for supporting the probes (11a), and an electrode plate provided on the support part, the support part is configured so as to be provided with support plates (41, 42) for supporting distal-end parts of the probes (11a) inserted through support holes (51, 52), and support plates (43, 44) for supporting proximal-end parts of the probes (11a) inserted through support holes (53, 54), and is configured so as to be able to move between a first orientation in which the support plates (41-44) are stacked so that open surfaces of the support holes (51-54) are aligned along the direction perpendicular to the support plates (41-44), and a second orientation in which the support plates (43, 44) are in contact with each other and the support plate (42) and support plate (43) are separated, and so that it is possible in the second orientation to change the distance (D2) between the support plate (42) and the support plate (43) while maintaining a constant distance (D1) between an inside surface of the support plate (42) and an outside surface of the support plate (44).
(FR)Selon la présente invention, la longueur de bouclage effective d'une sonde peut aisément être changée tout en conservant un coût de fabrication faible. La présente invention comporte une pluralité de sondes (11a), une partie de support pour soutenir des sondes (11a), et une plaque d'électrode agencée sur la partie de support, la partie de support est configurée de manière à comporter des plaques (41, 42) de support pour soutenir des parties d'extrémité distale des sondes (11a) insérées à travers des trous (51, 52) de support, et des plaques (43, 44) de support pour soutenir des parties d'extrémité proximale des sondes (11a) insérées à travers des trous (53, 54) de support, et est configurée de manière à être apte à se déplacer entre une première orientation dans laquelle les plaques (41-44) de support sont empilées de telle sorte que des surfaces ouvertes des trous (51-54) de support sont alignées le long de la direction perpendiculaire aux plaques (41-44) de support, et une seconde orientation dans laquelle les plaques (43, 44) de support sont en contact l'une avec l'autre et la plaque (42) de support et la plaque (43) de support sont séparées, et de telle sorte qu'il est possible dans la seconde direction de changer la distance (D2) entre la plaque (42) de support et la plaque (43) de support tout en maintenant une distance (D1) constante entre une surface intérieure de la plaque (42) de support et une surface extérieure de la plaque (44) de support.
(JA)製造コストを低く抑えつつプローブの有効座屈長を容易に変更する。 複数のプローブ11aと、プローブ11aを支持する支持部と、支持部に配設される電極板とを備え、支持部は、支持孔51,52に挿通させたプローブ11aの先端部を支持する支持板41,42と、支持孔53,54に挿通させたプローブ11aの基端部側を支持する支持板43,44とを備えて構成され、各支持板41~44に対して垂直な垂直方向に沿って支持孔51~54の各開口面が並ぶように各支持板41~44が積み重ねられた第1の姿勢と支持板43,44が当接状態で支持板42と支持板43とが離間する第2の姿勢との間で移行可能であって、第2の姿勢において、支持板42の内面と支持板44の外面との間の距離D1を一定に維持しつつ支持板42と支持板43との間の距離D2を変更可能に構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)