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1. (WO2014123028) クリーニング方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/123028    国際出願番号:    PCT/JP2014/051750
国際公開日: 14.08.2014 国際出願日: 28.01.2014
H01L 21/205 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01), H01L 21/318 (2006.01)
出願人: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-1, Sotokanda 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018980 (JP)
発明者: MORITA, Osamu; (JP).
MORI, Shinichiro; (JP).
KAMEDA, Kenji; (JP)
2013-020670 05.02.2013 JP
(JA) クリーニング方法
要約: front page image
(EN)Provided is a technique allowing control such that a signal indicating the concentration of a prescribed gas generated by means of a cleaning gas falls within a prescribed range. This cleaning method involves a cleaning step in which a cleaning gas is supplied and discharged, and matter adhering to the constituent components configuring a device is removed, wherein in this cleaning step, control is performed such that, after falling below a prescribed upper limit, the signal indicating the concentration of the prescribed gas generated by a reaction between the adhering matter and the cleaning gas falls for a prescribed period within the range between a prescribed upper and lower limit.
(FR)La présente invention se rapporte à une technique qui permet une commande de telle sorte qu'un signal qui indique la concentration d'un gaz préconisé produit au moyen d'un gaz de nettoyage s'inscrive dans une plage préconisée. Ce procédé de nettoyage comprend une étape de nettoyage au cours de laquelle un gaz de nettoyage est fourni et évacué, et une matière qui colle aux composants constitutifs qui configurent un dispositif, est enlevée ; au cours de cette étape de nettoyage, une commande est effectuée de telle sorte, après qu'il tombe sous une limite supérieure préconisée, le signal qui indique la concentration du gaz préconisé produit par une réaction entre la matière collante et le gaz de nettoyage, tombe pendant une période de temps préconisée dans la plage comprise entre une limite supérieure préconisée et une limite inférieure préconisée.
(JA) 本発明は、クリーニングガスにより生成される所定のガスの濃度を示す信号を所定の範囲内に収まるように制御することが可能な技術を提供するものである。 本発明は、クリーニングガスを給排して、装置を構成する構成部品に付着した付着物を除去するクリーニング工程を有するクリーニング方法であって、このクリーニング工程では、前記付着物と前記クリーニングガスとの反応により生成される所定のガスの濃度を示す信号が、所定の上限値以下に到達後、所定の上下限値の範囲内に所定期間収まるように制御されるクリーニング方法を提供するものである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)