WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2014122982) 研磨材スラリー
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/122982    国際出願番号:    PCT/JP2014/051062
国際公開日: 14.08.2014 国際出願日: 21.01.2014
IPC:
B24B 37/00 (2012.01), C01F 17/00 (2006.01), C01G 23/00 (2006.01), C09G 1/02 (2006.01), C09K 3/14 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
出願人: KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 2-7-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP)
発明者: INUI, Chie; (JP).
MAEZAWA, Akihiro; (JP).
ITO, Natsuki; (JP).
MIZOGUCHI, Keisuke; (JP).
TAKAHASHI, Atsushi; (JP)
代理人: KOYO INTERNATIONAL PATENT FIRM; 17F., Tokyo Takarazuka Bldg., 1-1-3, Yurakucho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006 (JP)
優先権情報:
2013-019999 05.02.2013 JP
発明の名称: (EN) POLISHING SLURRY
(FR) SUSPENSION DE POLISSAGE
(JA) 研磨材スラリー
要約: front page image
(EN)The problem to be solved by the present invention is to provide a polishing slurry that makes it possible to reduce the amount of cerium oxide used, does not cause clumping of polishing particles during long-term storage, has outstanding dispersion stability and scratch resistance when polishing, and has a high polishing rate. This polishing slurry is characterized by the following: the polishing slurry comprises core-shell-type polishing particles with respectively different compositions; the core of each core-shell-type polishing particle comprises as a primary constituent an oxide of a metallic element of at least one type selected from a group of designated metallic elements; the shell comprises cerium oxide as a primary constituent and an oxide of at least one type of metallic element selected from a group of designated metallic elements, as a secondary constituent; the core and the shell each comprise at least one type of oxide (including cerium oxide) of the same metallic element; the coefficient of variation of the particle diameter distribution of the core-shell-type polishing particles is 20% or less; and the average value of the zeta potential of the core-shell-type polishing particles is in the range −120 to −30 mV.
(FR)La présente invention vise à proposer une suspension de polissage qui rend possible la réduction de la quantité d'oxyde de cérium utilisée, ne provoque pas d'agglutination des particules de polissage pendant un stockage de longue durée, a une stabilité de dispersion excellente et une résistance aux rayures lors du polissage, et a une vitesse de polissage élevée. Cette suspension de polissage est caractérisée par ce qui suit : la suspension de polissage comprend des particules de polissage de type cœur-écorce avec des compositions respectivement différentes; le cœur de chaque particule de polissage du type cœur-écorce comprend en tant que constituant primaire un oxyde d'un élément métallique d'au moins un type sélectionné dans le groupe comprenant des éléments métalliques désignés; l'écorce comprend de l'oxyde de cérium en tant que constituant primaire et un oxyde d'au moins un type d'élément métallique sélectionné dans un groupe d'éléments métalliques désignés, en tant que constituant secondaire; le cœur et l'écorce comprennent chacun au moins un type d'oxyde (y compris l'oxyde de cérium) du même élément métallique; le coefficient de variation de la distribution de diamètres de particule des particules de polissage de type cœur-écorce est de 20 % ou moins; et la valeur moyenne du potentiel zêta des particules de polissage de type cœur-écorce est dans la plage de -120 à -30 mV.
(JA) 本発明の課題は、酸化セリウムの使用量を低減でき、研磨材粒子が長期間にわたる保存で凝集を起こすことなく、分散安定性及び研磨時の耐傷性に優れ、かつ研磨速度が速い研磨材スラリーを提供することである。 本発明の研磨材スラリーは、それぞれで組成が異なるコア・シェル型研磨材粒子を含有し、コア・シェル型研磨材粒子のコアは、特定の金属元素群から選ばれる少なくとも一種の金属元素の酸化物を主成分として含有し、記シェルは、主成分として酸化セリウムと、副成分として特定の金属元素群から選ばれる少なくとも一種の金属元素の酸化物とを含有し、コアとシェルとは、同一の金属元素の酸化物(酸化セリウムを含む)を少なくとも一種含有し、コア・シェル型研磨材粒子の粒子径分布の変動係数が20%以下で、かつ、前記コア・シェル型研磨材粒子のゼータ電位の平均値が、-120~-30mVの範囲内であることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)