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1. (WO2014119740) 基板搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/119740    国際出願番号:    PCT/JP2014/052305
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 31.01.2014
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
発明者: HAYASHI Masato; (JP).
HIGASHI Koudai; (JP)
代理人: KATSUNUMA Hirohito; Kyowa Patent & Law Office, Nippon Life Marunouchi Building, Marunouchi 1-6-6, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2013-019580 04.02.2013 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRATS
(JA) 基板搬送装置
要約: front page image
(EN)[Problem] To detect with high precision friction between substrates held in a substrate holding jig that holds a plurality of substrates in a shelf-like manner and a support body that supports the back surfaces of the substrates and transports the same. [Solution] This substrate transport device is constituted so as to be provided with: a mounting unit on which the substrate holding jig is mounted; a substrate transport mechanism, which is provided with a support body that supports the lower surfaces of the substrates and an advancing an retracting mechanism that advances and retracts the support body, for delivering substrates to the substrate holding jig; a raising and lowering mechanism that raises and lowers the substrate support body relative to the substrate holding jig; a sound amplification unit for amplifying contact sound generated by contact between substrates held in the substrate holding jig and the support body; and a detection unit for detecting friction between substrates and the support body by sensing individual propagated sounds propagated by the substrate holding jig on the basis of a sensing signal from a vibration sensor that outputs the sensing signal.
(FR)Le problème objet de la présente invention est de détecter avec précision la friction entre des substrats maintenus dans un équipement de maintien de substrats qui maintient une pluralité de substrats en étagères et un corps de support qui supporte les surfaces arrière des substrats et les transporte. La solution selon l'invention consiste à constituer le dispositif de transport de substrats de sorte qu'il comprenne : une unité de montage sur laquelle l'équipement de maintien de substrats est monté ; un mécanisme de transport de substrats, lequel comporte un corps de support qui supporte les surfaces inférieures des substrats et un mécanisme d'avancée et de rétraction qui avance et rétracte le corps de support, permettant de distribuer les substrats sur l'équipement de maintien de substrats ; un mécanisme élévateur et abaisseur qui élève et abaisse le corps de support de substrat par rapport à l'équipement de maintien de substrats ; une unité d'amplification de son permettant d'amplifier le son de contact généré par le contact entre les substrats maintenus dans l'équipement de maintien de substrats et le corps de support ; et une unité de détection permettant de détecter la friction entre les substrats et le corps de support en détectant les sons propagés individuels propagés par l'équipement de maintien de substrats sur la base d'un signal de détection provenant d'un capteur de vibration qui émet le signal de détection.
(JA)[課題]複数の基板を棚状に保持する基板保持具に保持される前記基板と、前記基板の裏面を支持して搬送する支持体との擦れを精度高く検出すること。 [解決手段]前記基板保持具が載置される載置部と、前記基板の下面を支持する支持体、及び前記支持体を進退させる進退機構を備え、前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、前記支持体を前記基板保持具に対して相対的に昇降させる昇降機構と、前記基板保持具に保持された基板と支持体との接触により発生する接触音を増幅させるための音増幅部と、前記基板保持具を伝播する固体伝播音を感知して感知信号を出力する振動センサからの前記感知信号に基づいて前記基板と支持体との擦れを検出するための検出部と、を備えるように基板搬送装置を構成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)