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1. (WO2014119659) 検査方法および検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/119659    国際出願番号:    PCT/JP2014/052087
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 30.01.2014
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), G01N 21/892 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP).
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA [US/US]; 12th Floor, 1111 Franklin Street, Oakland, California 946075200 (US)
発明者: NAKAO Toshiyuki; (JP).
WATANABE Masahiro; (JP).
YOSHITAKE Yasuhiro; (JP).
SHIMODA Yuichi; (JP).
SAITO Yoshihiro; (JP).
SASAZAWA Hideaki; (JP).
JALALI Bahram; (US).
GODA Keisuke; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
優先権情報:
61/758944 31.01.2013 US
発明の名称: (EN) INSPECTION METHOD AND INSPECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査方法および検査装置
要約: front page image
(EN)In order to apply STEAM technology that makes high-speed detection possible to a roll-to-roll production line and make it possible to prevent increases in data volume while reliably detecting and classifying defects, this inspection device is configured to: separate by wavelength a pulse laser that is emitted from a pulse laser light source; irradiate a continuously moving sample with the pulse laser that has been separated by wavelength; collect reflected light, transmitted light, or reflected light and transmitted light from the sample that is irradiated with the pulse laser that has been separated by wavelength; delay, according to wavelength, the reflected light, the transmitted light, or the reflected light and transmitted light from the area that is irradiated using the pulse laser collected from the sample; convert the reflected light, transmitted light, or reflected light and transmitted light that is delayed according to wavelength into an electric signal using photoelectric conversion; correct the converted electric signal in accordance with the spectral distribution of the pulse laser used to irradiate the sample; process the electric signal that has been corrected in accordance with the spectral distribution of the pulse laser; and output information related to the processed result.
(FR)Afin d'appliquer une technologie STEAM qui permet une détection haute vitesse à une ligne de production rouleau-à-rouleau et permet d'empêcher des augmentations de volume de données tout en détectant et classifiant de manière fiable des défauts, le dispositif d'inspection de la présente invention est configuré pour : séparer en longueur d'onde un laser pulsé qui est émis par une source de lumière laser pulsé ; irradier un échantillon se déplaçant en continu avec le laser pulsé qui a été séparé en longueur d'onde ; collecter une lumière réfléchie, une lumière émise, ou une lumière réfléchie et une lumière émise provenant de l'échantillon qui est irradié avec le laser pulsé qui a été séparé en longueur d'onde ; retarder, selon une longueur d'onde, la lumière réfléchie, la lumière émise, ou la lumière réfléchie et la lumière émise provenant de la zone qui est irradiée à l'aide du laser pulsé collecté provenant de l'échantillon ; convertir la lumière réfléchie, la lumière émise, ou la lumière réfléchie et la lumière émise qui est retardée selon une longueur d'onde en un signal électrique à l'aide d'une conversion photoélectrique ; corriger le signal électrique converti selon la distribution spectrale du laser pulsé utilisé pour irradier l'échantillon ; traiter le signal électrique qui a été corrigé selon la distribution spectrale du laser pulsé ; et délivrer en sortie des informations associées au résultat traité.
(JA)高速に検出することが可能なSTEAM技術をロールトゥロール製造ラインに適用して、データ容量の増大化を防ぎつつ欠陥の検出・分類を確実に行えるようにするために、検査装置を、パルスレーザ光源から発振されたパルスレーザを波長分離し、波長分離したパルスレーザを連続的に移動している試料に照射し、波長分離したパルスレーザが照射された試料からの反射光又は透過光又は反射光と透過光とを集光し、試料の集光されたパルスレーザが照射された領域からの反射光又は透過光又は反射光と透過光とを波長に応じて遅延させ、波長に応じて遅延させた反射光又は透過光又は反射光と透過光とを光電変換により電気信号に変換し、変換された電気信号に対して試料に照射したパルスレーザのスペクトル分布に応じた補正を行い、パルスレーザのスペクトル分布に応じた補正を行った電気信号を処理し、この処理した結果の情報を出力するように構成した。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)