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1. (WO2014119637) 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/119637    国際出願番号:    PCT/JP2014/052032
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 30.01.2014
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), C04B 41/88 (2006.01)
出願人: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
発明者: KUCHIMACHI, kazuhiro; (JP)
優先権情報:
2013-016088 30.01.2013 JP
発明の名称: (EN) SAMPLE HOLDER AND PLASMA ETCHING APPARATUS USING SAME
(FR) SUPPORT D'ÉCHANTILLON ET APPAREIL DE GRAVURE PAR PLASMA L'UTILISANT
(JA) 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置
要約: front page image
(EN)This sample holder is provided with: a base that is formed of a ceramic and has a sample holding surface on one main surface; and a heat-generating resistive element that is provided on the other main surface of the base and contains a glass component. The base contains the glass component in a region that is in the vicinity of the heat-generating resistive element.
(FR)Le présent support d'échantillon comporte : une base qui est formée d'une céramique et a une surface de maintien d'échantillon sur une surface principale ; et un élément résistif générateur de chaleur qui est disposé sur l'autre surface principale de la base et contient un composant en verre. La base contient le composant en verre dans une zone qui est au voisinage de l'élément résistif générateur de chaleur.
(JA) 試料保持具は、セラミックスからなり一方の主面に試料保持面を有する基体と、該基体の他方の主面に設けられた、ガラス成分を含む発熱抵抗体とを具備しており、前記基体は、前記発熱抵抗体の近傍領域に前記ガラス成分を含んでいる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)