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1. (WO2014119509) パターン評価装置、及び、パターン評価装置を備えた外観検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2014/119509 国際出願番号: PCT/JP2014/051661
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 27.01.2014
IPC:
G01N 23/225 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01) ,G01B 15/04 (2006.01) ,G01N 21/956 (2006.01) ,G06T 1/00 (2006.01) ,G06T 7/00 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者: USHIBA Hiroyuki; JP
MINAKAWA Tsuyoshi; JP
代理人: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
2013-01382629.01.2013JP
発明の名称: (EN) PATTERN EVALUATION DEVICE AND VISUAL INSPECTION DEVICE COMPRISING PATTERN EVALUATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉVALUATION DE MOTIF ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE VISUEL COMPRENANT UN DISPOSITIF D'ESTIMATION DE MODÈLE
(JA) パターン評価装置、及び、パターン評価装置を備えた外観検査装置
要約: front page image
(EN) This pattern evaluation device comprises a model estimating unit to estimate, from an inspection image, a model resulting from a manufacturing method, a deformation estimating unit to estimate the deformation of the inspection image using the estimated model, a reference data deforming unit to deform reference data using the estimated deformation, and an evaluating unit to evaluate by comparing the reference data deformed by the reference data deforming unit and the inspection image.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'évaluation de motif comprenant une unité d'estimation de modèle permettant d'estimer, à partir d'une image de contrôle, un modèle résultant d'un procédé de fabrication, une unité d'estimation de déformation permettant d'estimer la déformation de l'image de contrôle en utilisant le modèle estimé, une unité de déformation de données de référence permettant de déformer des données de référence à l'aide de la déformation estimée, et une unité d'évaluation permettant l'évaluation par comparaison des données de référence déformées par l'unité de déformation de données de référence et de l'image de contrôle.
(JA)  本発明のパターン評価装置は、検査画像から製造手法に起因したモデルを推定するモデル推定部と、推定されたモデルを用いて前記検査画像の変形量を推定する変形量推定部と、推定された変形量を用いて前記基準データを変形する基準データ変形部と、基準データ変形部によって変形された基準データと検査画像とを比較して評価処理を実行する評価部と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)