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1. (WO2014119350) 複合荷電粒子線検出器および荷電粒子線装置ならびに荷電粒子線検出器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/119350    国際出願番号:    PCT/JP2014/050270
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 10.01.2014
IPC:
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/24 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: NOMAGUCHI Tsunenori; (JP).
AGEMURA Toshihide; (JP)
代理人: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2013-016325 31.01.2013 JP
発明の名称: (EN) COMPOSITE CHARGED PARTICLE BEAM DETECTOR, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM DETECTOR
(FR) DÉTECTEUR DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES COMPOSITE, DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET DÉTECTEUR DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 複合荷電粒子線検出器および荷電粒子線装置ならびに荷電粒子線検出器
要約: front page image
(EN)The present invention relates to rapidly modulating a projection condition of a charged particle beam and detecting a signal which is synchronized with a modulation period, in order to extract, when projecting a plurality of charged particle beams simultaneously upon a sample, a signal originating in a specific charged particle beam, e.g., to separate a secondary electron signal originating in an ion beam projection and a secondary electron signal originating in an electron beam projection in an FIB-SEM device. Additionally, the present invention relates to spectrally analyzing emitted light from two or more types of fluorescent light bodies having different light emission characteristics and detecting each respective signal intensity, and processing signals on the basis of a proportion with a mechanism which sets a proportion of a first signal intensity when only a first charged particle beam is projected upon the sample and a proportion of a second signal intensity when only a second charged particle beam is projected upon the sample. It is thus possible by the present invention to extract only a signal originating in a prescribed charged particle beam even when a plurality of charged particle beams are simultaneously projected upon a sample. As an example, in an FIB-SEM device, SEM observation is possible in an FIB working using secondary electrons.
(FR)La présente invention concerne la modulation rapide d'une condition de projection d'un faisceau de particules chargées et la détection d'un signal synchronisé avec une période de modulation afin d'extraire, lors de la projection simultanée d'une pluralité de faisceaux de particules chargées sur un échantillon, un signal issu d'un faisceau de particules chargées spécifiques, par exemple pour distinguer un signal électronique secondaire issu d'une projection de faisceau d'ions et un signal électronique secondaire issu d'une projection de faisceau d'électrons dans un dispositif de microscopie électronique à balayage avec sonde ionique focalisée (FIB/SEM). L'invention concerne en outre l'analyse spectrale de la lumière émise par deux ou plusieurs types de corps fluorescents présentant des caractéristiques différentes d'émission lumineuse et la détection de l'intensité de chaque signal respectif ainsi que le traitement des signaux sur la base d'une proportion au moyen d'un mécanisme qui définit une proportion d'une première intensité de signal quand seul un premier faisceau de particules chargées est projeté sur l'échantillon et une proportion d'une seconde intensité de signal quand seul un second faisceau de particules chargées est projeté sur l'échantillon. L'invention permet ainsi d'extraire uniquement un signal issu d'un faisceau de particules chargées prédéterminé même quand une pluralité de faisceaux de particules chargées est simultanément projetée sur un échantillon. Selon un mode de réalisation donné à titre d'exemple, il est possible, dans un dispositif FIB/SEM, d'obtenir une observation en SEM dans une sonde FIB utilisant des électrons secondaires.
(JA) 本発明は、複数の荷電粒子線を同時に試料に照射した場合に、ある特定の荷電粒子線に起因する信号を抽出すること、例えば、FIB-SEM装置において、イオンビーム照射に起因する二次電子信号と電子ビーム照射に起因する二次電子信号を分離することを目的として、荷電粒子線の照射条件を高速に変調し、変調周期と同期した信号を検出することに関する。また、発光特性の異なる2種類以上の蛍光体からの発光を分光して各々の信号強度を検出し、第一の荷電粒子線のみを試料に照射したときの第一の信号強度と、第二の荷電粒子線のみを試料に照射したときの第二の信号強度の比率を設定する機構との比率にもとづき信号を処理することに関する。 本発明により、複数の荷電粒子線を試料に同時照射した場合においても、所望の荷電粒子線に起因する信号のみを抽出することが可能となる。例えば、FIB-SEM装置において、二次電子を用いたFIB加工中のSEM観察が可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)