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1. (WO2014119177) ガスノズルおよびこれを用いたプラズマ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/119177    国際出願番号:    PCT/JP2013/084380
国際公開日: 07.08.2014 国際出願日: 21.12.2013
IPC:
H01L 21/31 (2006.01), B05B 1/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01)
出願人: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
発明者: KAJIWARA, Yuki; (JP)
優先権情報:
2013-015004 30.01.2013 JP
発明の名称: (EN) GAS NOZZLE AND PLASMA DEVICE EMPLOYING SAME
(FR) BUSE À GAZ ET DISPOSITIF À PLASMA UTILISANT CELLE-CI
(JA) ガスノズルおよびこれを用いたプラズマ装置
要約: front page image
(EN)A gas nozzle according to an embodiment of the present invention comprises a columnar main body formed from a ceramic sintered body, whereupon through holes are formed wherethrough gas flows. Gas discharge apertures in the through holes are formed on one end face of the main body. Inner walls of the through holes further comprise first regions which are located near the discharge apertures, and second regions which are located further inward of the main body than the first regions. The first regions and the second regions are formed from an untreated face of the ceramic sintered body. Average crystal grain diameters in the first regions are greater than average crystal grain diameters in the second regions.
(FR)Dans un mode de réalisation, la présente invention concerne une buse à gaz comprenant un corps principal en forme de colonne formé à partir d'un corps fritté en céramique sur lequel sont formés des trous à travers lesquels s'écoule un gaz. Des ouvertures de décharge de gaz dans les trous de passage sont formées sur une face d'extrémité du corps principal. Les parois intérieures des trous de passage comprennent en outre des premières régions qui se trouvent à proximité des ouvertures de décharge et des deuxièmes régions qui se trouvent plus loin vers l'intérieur du corps principal que les premières régions. Les premières régions et les deuxièmes régions sont formées à partir d'une surface non traitée du corps fritté en céramique. Les diamètres des grains de cristal moyens dans les premières régions sont supérieurs aux diamètres des grains de cristal moyens dans les deuxièmes régions.
(JA) 本発明の一形態によるガスノズルは、ガスが流れる貫通孔が形成されたセラミック焼結体からなる柱状の本体を備える。本体の一端面には、貫通孔におけるガスの流出口が形成されている。貫通孔の内壁は、流出口の近傍に位置する第1領域と第1領域よりも本体の内部に位置する第2領域とを有する。第1領域および第2領域は、セラミック焼結体の焼き肌面からなる。第1領域における平均結晶粒径は、第2領域における平均結晶粒径よりも大きい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)