WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2014061575) パターン検査・計測装置及びプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/061575    国際出願番号:    PCT/JP2013/077721
国際公開日: 24.04.2014 国際出願日: 11.10.2013
IPC:
G01B 15/04 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: MINAKAWA Tsuyoshi; (JP).
HIROI Takashi; (JP).
YOSHIDA Takeyuki; (JP).
NINOMIYA Taku; (JP).
YAMAMOTO Takuma; (JP).
SHINDO Hiroyuki; (JP).
FUKUNAGA Fumihiko; (JP).
TOYODA Yasutaka; (JP).
SHINODA Shinichi; (JP)
代理人: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
優先権情報:
2012-227590 15.10.2012 JP
発明の名称: (EN) PATTERN INSPECTING AND MEASURING DEVICE AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF ET PROGRAMME D'INSPECTION ET DE MESURE DE MOTIF
(JA) パターン検査・計測装置及びプログラム
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a pattern inspecting and measuring device that improves the reliability of inspection and measurement results by reducing the effect of noise or the like on inspections or measurements using an edge position extracted from image data obtained by imaging the pattern of an object to be inspected or measured. To this end, a pattern inspecting and measuring device, which inspects or measures a pattern to be inspected or measured by using an edge position extracted from image data obtained by imaging a pattern to be inspected or measured by using an edge extraction parameter, is characterized by generating the edge extraction parameter by using the image data and a reference pattern indicating the shape that is the reference for inspection or measurement.
(FR)L'objet de la présente invention consiste à proposer un dispositif d'inspection et de mesure de motif qui améliore la fiabilité de résultats d'inspection et de mesure par la réduction de l'effet de bruit ou analogue sur des inspections ou des mesures à l'aide d'une position de bord extraite de données d'images obtenues par l'imagerie du motif d'un objet devant être inspecté ou mesuré. Dans ce but, un dispositif d'inspection et de mesure de motif, qui inspecte ou mesure un motif devant être inspecté ou mesuré par l'utilisation d'une position de bord extraite de données d'images obtenues par l'imagerie d'un motif devant être inspecté ou mesuré par l'utilisation d'un paramètre d'extraction de bord, est caractérisé en ce qu'il génère le paramètre d'extraction de bord par l'utilisation des données d'images et d'un motif de référence indiquant la forme qui constitue la référence pour l'inspection ou la mesure.
(JA) 検査或いは計測対象のパターンを撮像して得られた画像データから抽出したエッジの位置を用いた検査或いは計測において、ノイズ等の影響を低減し検査或いは計測結果の信頼性を向上させる、パターン検査・計測装置を提供する。このために、検査或いは計測対象パターンを撮像して得られた画像データからエッジ抽出パラメータを用いて抽出したエッジの位置を用いて検査或いは計測対象パターンの検査或いは計測を行うパターン検査・計測装置において、検査或いは計測の基準となる形状を表す基準パターンと前記画像データとを用いて前記エッジ抽出パラメータを生成することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)