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1. (WO2013149961) PARTICULATE CONTAMINATION MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2013/149961 国際出願番号: PCT/EP2013/056794
国際公開日: 10.10.2013 国際出願日: 28.03.2013
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft, NL
発明者:
DE JONG, Anthonius; NL
VAN DER DONCK, Jacques; NL
代理人:
SLENDERS, Peter; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
優先権情報:
61/619,20902.04.2012US
発明の名称: (EN) PARTICULATE CONTAMINATION MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE DE CONTAMINATION DE MATIÈRE PARTICULAIRE
要約:
(EN) A particulate contamination measurement method and apparatus are discussed. The method, for example, comprises pressing a measurement surface (5) of a polyurethane elastomer (2) against a surface (7) to be measured, removing the polyurethane elastomer from the surface without leaving residues, then using an optical apparatus (11) to detect particles (8) which have been removed by the polyurethane elastomer from the surface and which have become attached to the polyurethane elastomer.
(FR) La présente invention porte sur un procédé et un appareil de mesure de contamination de matière particulaire. Le procédé, par exemple, comprend le pressage d'une surface de mesure (5) d'un élastomère de polyuréthane (2) contre une surface (7) à mesurer, le retrait de l'élastomère de polyuréthane de la surface sans laisser de résidus, puis l'utilisation d'un appareil optique (11) pour détecter des particules (8) qui ont été retirées par l'élastomère de polyuréthane de la surface et qui sont devenues attachées à l'élastomère de polyuréthane.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)
また、:
EP2834709US20150055127KR1020150013483CN104204954JP6282260JP2015517101