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1. (WO2013125445) 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/125445    国際出願番号:    PCT/JP2013/053558
国際公開日: 29.08.2013 国際出願日: 14.02.2013
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B24B 37/00 (2012.01)
出願人: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. [JP/JP]; 9-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006606 (JP)
発明者: MINAMI Hisataka; (JP).
AKUTSU Toshiaki; (JP).
IWANO Tomohiro; (JP).
FUJISAKI Koji; (JP)
代理人: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2012-035439 21.02.2012 JP
発明の名称: (EN) ABRASIVE, ABRASIVE SET, AND METHOD FOR ABRADING SUBSTRATE
(FR) ABRASIF, ENSEMBLE ABRASIF ET PROCÉDÉ D'ABRASION D'UN SUBSTRAT
(JA) 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法
要約: front page image
(EN)This abrasive contains: water; an abrasive grit including a hydroxide of a tetravalent metallic element; and a specific glycerin compound.
(FR)La présente invention concerne un abrasif qui contient : de l'eau ; un grain abrasif contenant l'hydroxyde d'un élément métallique tétravalent ; et un composé de glycérine spécifique.
(JA) 本発明に係る研磨剤は、水と、4価金属元素の水酸化物を含む砥粒と、特定のグリセリン化合物と、を含有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)