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1. (WO2013121634) 浮上搬送装置および浮上搬送方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/121634    国際出願番号:    PCT/JP2012/079077
国際公開日: 22.08.2013 国際出願日: 09.11.2012
IPC:
B65G 51/03 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: OILES CORPORATION [JP/JP]; 6-34, Kounan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP)
発明者: YASUDA, Takahiro; (JP).
TSUNODA, Koichi; (JP).
IKEDA, Toshiyuki; (JP).
OZAWA, Hideo; (JP)
代理人: OHZEKI, Mitsuhiro; 13-14-206, Hiranuma 1-Chome, Nishi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2200023 (JP)
優先権情報:
2012-029473 14.02.2012 JP
発明の名称: (EN) FLOAT TRANSPORTATION DEVICE AND FLOAT TRANSPORTATION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT FLOTTANT
(JA) 浮上搬送装置および浮上搬送方法
要約: front page image
(EN)Provided is a low-cost transport technology with which the object being transported can be transported without contact and in a stable manner, even when a transport line is constructed by aligning multiple rails in the transport direction. Multiple compressed gas exhaust holes (22), for the purpose of blowing onto a substrate (5) on the transport surface (20) a compressed gas that has been supplied to a ventilation path, and multiple spiral flow generation parts (23), which blow the compressed gas and generate a spiral flow, are formed on the transport surface (20) of a rail (2). Multiple spiral flow generation parts (23) are formed at least at positions on the transport surface (20) corresponding to the rear edge (51b) of the substrate (5) when the front edge (51a) of the substrate (5) reaches the rearward edge (21b), in the transport direction (A), of the transport surface (20) of the subsequent rail (2), and are formed at positions on the transport surface (20) corresponding to the front edge (51a) of the substrate (5) when the rear edge (51b) of the substrate (5) reaches the forward edge (21a), in the transport direction (A), of the transport surface (20) of the rail (2).
(FR)L'invention porte sur une technologie de transport à faible coût, à l'aide de laquelle l'objet qui est transporté peut être transporté sans contact et de manière stable, même lorsqu'une ligne de transport est construite par l'alignement de multiples rails dans la direction de transport. De multiples trous d'évacuation de gaz comprimé (22), dans le but de souffler sur un substrat (5), se trouvant sur la surface de transport (20), un gaz comprimé qui a été fourni à un trajet de ventilation, et de multiples parties de génération d'écoulement en spirale (23), qui soufflent le gaz comprimé et qui génèrent un écoulement en spirale, sont formés sur la surface de transport (20) d'un rail (2). De multiples parties de génération d'écoulement en spirale (23) sont formées au moins en des positions sur la surface de transport (20) correspondant au bord arrière (51b) du substrat (5) lorsque le bord avant (51a) du substrat (5) atteint le bord arrière (21b), dans la direction de transport (A), de la surface de transport (20) du rail suivant (2), et sont formées dans des positions sur la surface de transport (20) correspondant au bord avant (51a) du substrat (5) lorsque le bord arrière (51b) du substrat (5) atteint le bord avant (21a), dans la direction de transport (A), de la surface de transport (20) du rail (2).
(JA) レールを搬送方向に沿って複数並べて搬送ラインを構築する場合でも、安定して搬送対象を非接触で搬送することができ、かつ低コストの搬送技術を提供する。レール(2)の搬送面(20)には、通気路に供給された圧縮気体を噴出し搬送面(20)上の基板(5)に吹き付けるための圧縮気体噴出口(22)と、圧縮気体を噴出し旋回流を生成する旋回流生成部(23)とがそれぞれ複数形成されている。旋回流生成部(23)は、少なくとも、基板(5)の先端部(51a)が後続レール(2)の搬送面(20)の搬送方向(A)後方側の端部(21b)に到達する際に基板(5)の後端部(51b)に対応する搬送面(20)上の位置と、基板(5)の後端部(51b)がレール(2)の搬送面(20)の搬送方向(A)前方側の端部(21a)に到達した際に基板(5)の先端部(51a)に対応する搬送面(20)上の位置とに複数形成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)