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1. (WO2013121518) 測定装置及び測定方法

Pub. No.:    WO/2013/121518    International Application No.:    PCT/JP2012/053369
Publication Date: 2013/08/22 International Filing Date: 2012/02/14
IPC: G01N 21/27
Applicants: NIRECO CORPORATION
株式会社ニレコ
YAMADA, Takeo
山田 健夫
KAWAI, Shingo
河合 慎吾
HAYASHI, Shinji
林 眞治
YAMAKURA, Takahiro
山倉 崇寛
YAMAMOTO, Takeshi
山本 猛
Inventors: YAMADA, Takeo
山田 健夫
KAWAI, Shingo
河合 慎吾
HAYASHI, Shinji
林 眞治
YAMAKURA, Takahiro
山倉 崇寛
YAMAMOTO, Takeshi
山本 猛
Title: 測定装置及び測定方法
Abstract:
 本発明による膜厚測定装置は、光源と光強度センサとを備えたヘッドと、データ処理部と、を備え、前記光源から測定対象に光を照射して反射された光のうち、前記ヘッドから照射された光の強度を前記光強度センサで測定することにより、基材上に形成された膜の厚さ及び密度の少なくとも一方を測定する測定装置である。前記ヘッドは、前記光源からの光の、測定対象に対する入射角を変えることができるように構成されており、前記データ処理部は、前記光源からの光が測定対象に対して0度の入射角で入射した場合の反射光の強度、及び、前記光源からの光が1度から20度の間のいずれかの入射角で入射した場合の反射光の強度を使用して膜の厚さ及び密度の少なくとも一方を測定する。