WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2013121493) 半導体処理システム、半導体装置の製造方法、装置データ収集方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/121493    国際出願番号:    PCT/JP2012/007962
国際公開日: 22.08.2013 国際出願日: 13.12.2012
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
出願人: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP)
発明者: OFUJI, Fumiyoshi; (JP)
代理人: YAMAMOTO, Shusaku; GRAND FRONT OSAKA TOWER C, 3-1 Ofuka-cho, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300011 (JP)
優先権情報:
2012-033179 17.02.2012 JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, DEVICE DATA COLLECTING METHOD, CONTROL PROGRAM, AND READABLE STORAGE MEDIUM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR, PROCÉDÉ DE COLLECTE DE DONNÉES, PROGRAMME DE COMMANDE ET SUPPORT DE STOCKAGE POUVANT ÊTRE LU PAR UN ORDINATEUR
(JA) 半導体処理システム、半導体装置の製造方法、装置データ収集方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体
要約: front page image
(EN)[Problem] To efficiently extract the feature values of steps and to precisely and easily extract the feature values of steps even if there has been any recipe change such as step addition/deletion or the like. [Solution] There are included: a semiconductor processing unit (3) that performs a film formation on a processing condition that has been established; a device status data collecting unit (4) that collects device status data from the semiconductor processing unit (3); and a data analyzing unit (5) that extracts predetermined feature values and performs a data analysis on the basis of the device status data that matches a condition definition file used as section definition information in which one or more compilation sections have been individually established for a plurality of steps on the processing recipe of the semiconductor processing unit (3).
(FR)[Problème] Extraire efficacement les valeurs caractéristiques des étapes et extraire de manière précise et facilement les valeurs caractéristiques des étapes même s'il y a eu un changement de recette comme l'addition/la suppression d'étapes ou analogue. [Solution] L'invention concerne une unité de traitement de semi-conducteurs (3) qui forme un film selon une condition de traitement qui a été établie; une unité de collecte de données d'état du dispositif (4) qui collecte des données d'état du dispositif provenant de l'unité de traitement de semi-conducteurs (3); et une unité d'analyse de données (5) qui extrait des valeurs caractéristiques prédéterminées et effectue une analyse de données sur la base des données d'état de dispositif qui correspond à un fichier de définition de condition utilisé comme informations de définition de section dans lequel une ou plusieurs sections de compilation ont été individuellement établies pour une pluralité d'étapes sur la recette de traitement de l'unité de traitement de semi-conducteurs (3).
(JA)【課題】効率的にステップの特徴量を抽出すると共に、ステップ追加/削除などのレシピ変更があった場合であっても、ステップの特徴量を正確かつ容易に抽出する。 【解決手段】設定処理条件で膜形成を行う半導体処理部3と、半導体処理部3からの装置状態データを収集する装置状態データ収集部4と、半導体処理部3の処理レシピ上の複数のステップに対して一または複数の集計区間を個別に設定した区間定義情報としての条件定義ファイルと一致した装置状態データに基づいて所定の特徴量を抽出してデータ解析を行うデータ解析部5とを有している。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)