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1. WO2013118393 - 電子線照射装置及び電子線透過ユニット

公開番号 WO/2013/118393
公開日 15.08.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/082827
国際出願日 18.12.2012
IPC
G21K 5/00 2006.01
G物理学
21核物理;核工学
K他に分類されない粒子線または電離放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡
5照射装置
G21K 5/04 2006.01
G物理学
21核物理;核工学
K他に分類されない粒子線または電離放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡
5照射装置
04ビーム形成手段をもつもの
CPC
G21K 5/04
GPHYSICS
21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
5Irradiation devices
04with beam-forming means
G21K 5/10
GPHYSICS
21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
5Irradiation devices
10with provision for relative movement of beam source and object to be irradiated
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 服部 剛明 HATTORI Takeaki
  • 内山 圭吾 UCHIYAMA Keigo
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
優先権情報
2012-02530908.02.2012JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELECTRON BEAM RADIATION APPARATUS AND ELECTRON BEAM TRANSMISSION UNIT
(FR) APPAREIL DE RAYONNEMENT DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS ET UNITÉ DE TRANSMISSION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 電子線照射装置及び電子線透過ユニット
要約
(EN)
An electron beam radiation apparatus is provided with: an electron gun that generates an electron beam; and a housing in which an electron beam passing hole through which the electron beam generated by the electron gun passes is provided. In this electron beam radiation apparatus, an electron beam transmission unit (50) is disposed at a radiating-side opening section of the electron beam passing hole, and is for letting an electron beam that has passed through the electron beam passing hole transmit therethrough. The electron beam transmission unit (50) is provided with: a window frame (50A) that is attached to the radiating-side opening section; a support member (52) comprising a metal mesh section (52b) disposed inside the window frame (50A); a window member (55) that is supported above the metal mesh section (52b), and that is a metal film that lets an electron beam that has passed through the electron beam passing hole transmit therethrough; and a heat transfer member (59) that is disposed between the metal mesh section (52b) and the window member (55). The heat transfer member (59) is a film made from a material comprising carbon, and has ventilation holes.
(FR)
L'invention concerne un appareil de rayonnement de faisceau d'électrons qui comporte : un canon à électrons qui génère un faisceau d'électrons ; et un boîtier dans lequel est ménagé un trou de passage de faisceau d'électrons par lequel le faisceau d'électrons généré par le canon à électrons passe. Dans cet appareil de rayonnement de faisceau d'électrons, une unité de transmission de faisceau d'électrons (50) est disposée dans une section d'ouverture côté rayonnement du trou de passage de faisceau d'électrons, et permet à un faisceau d'électrons qui est passé à travers le trou de passage de faisceau d'électrons d'être transmis. L'unité de transmission de faisceau d'électrons (50) comporte : un cadre de fenêtre (50A) qui est attaché à la section d'ouverture côté rayonnement ; un élément support (52) comprenant une section treillis métallique (52b) disposée à l'intérieur du cadre de fenêtre (50A) ; un élément fenêtre (55) qui est supporté au-dessus de la section treillis métallique (52b) et qui est un film métallique qui laisse un faisceau d'électrons qui est passé au travers du trou de passage de faisceau d'électrons être transmis ; et un élément de transfert de chaleur (59) qui est disposé entre la section treillis métallique (52b) et l'élément fenêtre (55). L'élément de transfert de chaleur (59) est un film fait à partir d'une matière comprenant du carbone et qui a des trous de ventilation.
(JA)
 電子線透過ユニット50は、電子線を発生する電子銃と、電子銃が発生した電子線を通過させる電子線通過孔が設けられた筐体と、を具備する電子線照射装置において、電子線通過孔の出射側開口部に配置されて、電子線通過孔を通過した電子線を透過させるためのものである。電子線透過ユニット50は、出射側開口部に取り付けられるための窓枠体50Aと、窓枠体50Aの内側に配置された金属メッシュ部52bを有する支持部材52と、金属メッシュ部52b上に支持され、電子線通過孔を通過した電子線を透過させる金属膜である窓部材55と、金属メッシュ部52bと窓部材55との間に配置された伝熱部材59と、を備え、伝熱部材59は、炭素を含む材料からなる膜であり、通気孔を有する。
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