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1. (WO2013115272) 種結晶保持体、結晶成長装置および結晶成長方法

Pub. No.:    WO/2013/115272    International Application No.:    PCT/JP2013/052091
Publication Date: 2013/08/08 International Filing Date: 2013/01/30
IPC: C30B 29/36
C30B 19/06
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: MASAKI, Katsuaki
正木 克明
KUBA, Yutaka
久芳 豊
DOMOTO, Chiaki
堂本 千秋
UEYAMA, Daisuke
上山 大輔
Title: 種結晶保持体、結晶成長装置および結晶成長方法
Abstract:
 本発明の種結晶保持体は、溶液法による結晶成長に用いられる種結晶保持体であって、炭化珪素からなる種結晶と、該種結晶の上に位置する保持部材と、前記種結晶と前記保持部材とを固定した接着材と、該接着材によって厚み方向に挟持された、平面視において前記種結晶の外縁よりも小さい外縁を有する、炭素からなるシート部材とを有する。