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1. (WO2013114967) 酸化亜鉛スパッタリングターゲット及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/114967    国際出願番号:    PCT/JP2013/050905
国際公開日: 08.08.2013 国際出願日: 18.01.2013
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C04B 35/453 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), H01B 5/14 (2006.01)
出願人: NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 2-56, Suda-Cho, Mizuho-Ku, Nagoya-Shi, Aichi 4678530 (JP)
発明者: YOSHIKAWA Jun; (JP).
IMAI Katsuhiro; (JP).
KONDO Koichi; (JP)
代理人: TAKAMURA Masaharu; Maxwell International IP Law Firm, Unity Forum II 3F, 1-4-1 Nerima, Nerima-ku, Tokyo 1760001 (JP)
優先権情報:
2012-016456 30.01.2012 JP
2012-211222 25.09.2012 JP
発明の名称: (EN) ZINC OXIDE SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION D'OXYDE DE ZINC ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 酸化亜鉛スパッタリングターゲット及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a zinc oxide sputtering target which enables the production of a transparent zinc oxide conductive film with high productivity by effectively suppressing the occurrence of breaking or cracks in a target during a sputtering process. This zinc oxide sputtering target is formed of a zinc oxide sintered body that is configured to contain zinc oxide crystal grains, and has a (100) orientation degree of 50% or more in the sputtering surface.
(FR)L'invention concerne une cible de pulvérisation d'oxyde de zinc permettant de produire un film conducteur transparent d'oxyde de zinc à productivité élevée par élimination efficace de ruptures ou de fissures apparues dans la cible pendant un procédé de pulvérisation. La cible de pulvérisation d'oxyde de zinc est formée d'un corps fritté d'oxyde de zinc qui est conçu pour contenir des grains cristallins d'oxyde de zinc et pour présenter (100) un degré d'orientation de 50% ou plus de la surface de pulvérisation.
(JA) スパッタリング時におけるターゲットの割れやクラックの発生を効果的に抑制して、酸化亜鉛透明導電膜を高い生産性で製造することを可能とする、酸化亜鉛スパッタリングターゲットが提供される。この酸化亜鉛スパッタリングターゲットは、酸化亜鉛結晶粒子を含んで構成される酸化亜鉛焼結体からなり、スパッタ面における(100)配向度が50%以上である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)