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1. (WO2013114654) 静電チャック部材
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/114654    国際出願番号:    PCT/JP2012/069841
国際公開日: 08.08.2013 国際出願日: 03.08.2012
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 6-28, Rokubancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUGIMOTO, Hironori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ANDO, Kazuto [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KUGIMOTO, Hironori; (JP).
ANDO, Kazuto; (JP)
代理人: OHTANI, Tamotsu; OHTANI PATENT OFFICE, Bridgestone Toranomon Bldg. 6F., 25-2, Toranomon 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2012-016943 30.01.2012 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER
(FR) ÉLÉMENT DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック部材
要約: front page image
(EN)An electrostatic chuck member: comprising a complex oxide sintered body having some yttrium in an yttrium aluminium oxide substituted with a rare earth element (RE) excluding yttrium; having a ratio [NRE/(NY+NRE)] of at least 0.01 and less than 0.5, between the number (NRE) of rare earth element atoms excluding yttrium and the sum (NY+NRE) of the number of yttrium atoms (NY) and the number (NRE) of rare earth element atoms excluding yttrium; and having a volume resistance of at least 1×1010 Ω·cm and less than 1×1015 Ω·cm.
(FR)Un élément de mandrin électrostatique : comprenant un corps fritté d'oxyde complexe, ayant une partie d'yttrium dans un oxyde d'yttrium et d'aluminium substitué par un élément de terre rare (RE) excluant l'yttrium ; ayant un rapport [NRE/ (NY + NRE)] d'au moins 0,01 et inférieur à 0,5, entre le nombre (NRE) d'atomes d'éléments de terre rare excluant l'yttrium et la somme (NY + NRE) du nombre d'atomes d'yttrium (NY) et le nombre (NRE) des atomes d'éléments de terre rare excluant l'yttrium ; et ayant une résistance volumique d'au moins 1 × 1010 omega • cm et inférieure à 1 × 1015 omega • cm.
(JA) 酸化イットリウムアルミニウムのイットリウムの一部を、イットリウムを除く希土類元素(RE)で置換してなる複合酸化物焼結体からなり、イットリウムの原子数(NY)とイットリウムを除く希土類元素の原子数(NRE)との和(NY+NRE)に対する、イットリウムを除く希土類元素の原子数(NRE)の比[NRE/(NY+NRE)]が0.01以上0.5未満であり、体積抵抗値が1×1010Ω・cm以上1×1015Ω・cm未満である静電チャック部材である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)