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1. WO2013111255 - 放射線ターゲット及びその製造方法

公開番号 WO/2013/111255
公開日 01.08.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/051297
国際出願日 23.01.2012
IPC
H01J 35/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
35X線管
02細部
04電極
08陽極;対陰極
C22C 14/00 2006.01
C化学;冶金
22冶金;鉄または非鉄合金;合金の処理または非鉄金属の処理
C合金
14チタンを基とする合金
H01J 35/18 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
35X線管
02細部
16うつわ;容器;それらと結合した遮へい
18
CPC
G01N 23/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
02by transmitting the radiation through the material
04and forming images of the material
H01J 2235/084
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2235X-ray tubes
08Targets (anodes) and X-ray converters
083Bonding or fixing with the support or substrate
084Target-substrate interlayers or structures, e.g. to control or prevent diffusion or improve adhesion
H01J 35/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
35X-ray tubes
02Details
H01J 35/116
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
35X-ray tubes
02Details
04Electrodes ; ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
08Anodes; Anti cathodes
112Non-rotating anodes
116Transmissive anodes
出願人
  • キヤノン株式会社 CANON KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 小倉 孝夫 OGURA Takao [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 伊藤 靖浩 ITO Nobuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 小倉 孝夫 OGURA Takao
  • 伊藤 靖浩 ITO Nobuhiro
代理人
  • 阿部 琢磨 ABE Takuma
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) RADIATION TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
(FR) CIBLE DE RAYONNEMENT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 放射線ターゲット及びその製造方法
要約
(EN)
Provided are a radiation discharge target and a radiation emission device whereby adhesion of a layered radiation target is stabilized, output fluctuations associated with operating temperature histories are alleviated, and a stable radiation emission characteristic is present. This radiation target comprises a support substrate, a target layer which emits radiation by illumination with an electron beam, and an intermediate layer which is located between the support substrate and the target layer. The intermediate layer is 1µm or less in thickness and has titanium as a primary constituent. At least a portion of the titanium exhibits a β phase at 400°C or below.
(FR)
La Présente invention se rapporte à une cible de sortie de rayonnement et un dispositif d'émission de rayonnement par lequel l'adhésion d'une cible de rayonnement en couches est stabilisée, les fluctuations de sortie associées à des historiques de températures de fonctionnement sont atténuées, et une caractéristique d'émission de rayonnement stable est présente. Cette cible de rayonnement comprend un substrat de support, une couche cible qui émet un rayonnement par éclairage avec un faisceau d'électrons, et une couche intermédiaire qui est située entre le substrat de support et la couche cible. L'épaisseur de la couche intermédiaire est de 1 µm ou moins, et son constituant primaire est le titane. Au moins une partie du titane présente une phase beta à 400 °C ou moins.
(JA)
 積層型放射線ターゲットの密着性を安定化させ、動作温度履歴に伴う出力変動を抑制し、安定した放射線放出特性を有する放射線放出ターゲット及び放射線発生装置を提供する。 支持基板と、電子線の照射により放射線を発生するターゲット層と、前記支持基板と前記ターゲット層との間に位置する中間層とを備えた放射線ターゲットにおいて、前記中間層は、その層厚が1μm以下であるとともに、チタンを主成分として含有し、前記チタンの少なくとも一部は、400℃以下においてβ相を呈することを特徴とする放射線ターゲット。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報