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1. WO2013099998 - 感放射線性樹脂組成物、重合体、化合物及び化合物の製造方法

公開番号 WO/2013/099998
公開日 04.07.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/083754
国際出願日 26.12.2012
IPC
G03F 7/039 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
039光分解可能な高分子化合物,例.ポジ型電子レジスト
C07C 67/14 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
67カルボン酸エステルの製造
14カルボン酸ハロゲン化物からのもの
C07C 69/54 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
69カルボン酸のエステル;炭酸またはハロぎ酸のエステル
52エステル化されているカルボキシル基が非環式炭素原子に結合している非環式不飽和カルボン酸のエステル
533炭素―炭素二重結合を1個もつ一塩基酸のエステル
54アクリル酸エステル;メタクリル酸エステル
C07D 307/93 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
D複素環式化合物(高分子化合物C08)
307異項原子として1個の酸素原子のみをもつ5員環を含有する複素環式化合物
77炭素環または炭素環系とオルト―またはペリ―縮合したもの
936員環以外の環と縮合したもの
C07D 333/78 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
D複素環式化合物(高分子化合物C08)
333異項原子として1個の硫黄原子のみをもつ5員環を含有する複素環式化合物
50炭素環または炭素環系と縮合したもの
786員環以外の環またはこのような環を含有する環系と縮合したもの
C08F 20/10 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
F炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物
20ただ1つの炭素-炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,そのうちただ1つの脂肪族基がただ1つのカルボキシル基によって停止されている化合物,その塩,無水物,エステル,アミド,イミドまたはそのニトリルの単独重合体または共重合体
029個以下の炭素原子をもつモノカルボン酸;その誘導体
10エステル
CPC
C07C 2601/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2601Systems containing only non-condensed rings
06with a five-membered ring
08the ring being saturated
C07C 2601/10
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2601Systems containing only non-condensed rings
06with a five-membered ring
10the ring being unsaturated
C07C 2601/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2601Systems containing only non-condensed rings
12with a six-membered ring
14The ring being saturated
C07C 2601/16
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2601Systems containing only non-condensed rings
12with a six-membered ring
16the ring being unsaturated
C07C 2602/28
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2602Systems containing two condensed rings
02the rings having only two atoms in common
14All rings being cycloaliphatic
26the ring system containing ten carbon atoms
28Hydrogenated naphthalenes
C07C 2602/42
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
2602Systems containing two condensed rings
36the rings having more than two atoms in common
42the bicyclo ring system containing seven carbon atoms
出願人
  • JSR株式会社 JSR CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 生井 準人 NAMAI Hayato
代理人
  • 天野 一規 AMANO Kazunori
優先権情報
2011-29014428.12.2011JP
2012-15415909.07.2012JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, POLYMER, COMPOUND, AND METHOD FOR PRODUCING COMPOUND
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE SENSIBLE AU RAYONNEMENT, POLYMÈRE, COMPOSÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU COMPOSÉ
(JA) 感放射線性樹脂組成物、重合体、化合物及び化合物の製造方法
要約
(EN)
The present invention is a radiation-sensitive resin composition which contains [A] a polymer that has a structural unit represented by formula (1) and [B] an acid generator. In formula (1), R2 represents a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group; R3 represents a hydrogen atom, a monovalent chain hydrocarbon group, a monovalent alicyclic hydrocarbon group or a monovalent aromatic hydrocarbon group, or alternatively, R3 and R6 combine together to form an alicyclic structure together with carbon atoms to which R3 and R6 are bonded; R4 represents a hydrogen atom, a monovalent chain hydrocarbon group, a monovalent alicyclic hydrocarbon group or a monovalent aromatic hydrocarbon group; and R5 represents a hydrogen atom, a monovalent chain hydrocarbon group, a monovalent alicyclic hydrocarbon group or a monovalent aromatic hydrocarbon group, or alternatively, R5 and R6 combine together to form an alicyclic structure together with carbon atoms to which R5 and R6 are bonded.
(FR)
La présente invention consiste en une composition de résine sensible au rayonnement qui contient [A] un polymère qui a une unité structurale représentée par la formule (1) et [B] un générateur d'acide. Dans la formule (1), R2 représente un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné monovalent; R3 représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne monovalente, un groupe hydrocarboné alicyclique monovalent ou un groupe hydrocarboné aromatique monovalent, ou en variante, R3 et R6 se combinent pour former une structure alicyclique conjointement avec les atomes de carbone auxquels R3 et R6 sont liés; R4 représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne monovalente, un groupe hydrocarboné alicyclique monovalent ou un groupe hydrocarboné aromatique monovalent; et R5 représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne monovalente, un groupe hydrocarboné alicyclique monovalent ou un groupe hydrocarboné aromatique monovalent, ou en variante, R5 et R6 se combinent pour former une structure alicyclique conjointement avec les atomes de carbone auxquels R5 et R6 sont liés.
(JA)
 本発明は、[A]下記式(1)で表される構造単位を有する重合体、及び[B]酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。式(1)中、Rは、水素原子又は1価の炭化水素基である。Rは、水素原子、1価の鎖状炭化水素基、1価の脂環式炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基であるか、Rと互いに結合してそれらが結合している炭素原子と共に脂環式構造を形成する。Rは、水素原子、1価の鎖状炭化水素基、1価の脂環式炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基である。Rは、水素原子、1価の鎖状炭化水素基、1価の脂環式炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基であるか、Rと互いに結合してそれらが結合している炭素原子と共に脂環式構造を形成する。
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