(EN) Provided is a method of manufacturing an organic EL element which is provided with a pair of electrodes consisting of an upper electrode and a lower electrode, and with an organic functional layer provided therebetween, wherein the upper electrode is formed on the organic functional layer with a deposition power density of 4.5-9.0 W/cm2 using the magnetron sputtering method.
(FR) La présente invention a trait à un procédé de fabrication d'un élément électroluminescent organique qui est équipé d'une paire d'électrodes qui est constituée d'une électrode supérieure et d'une électrode inférieure, une couche fonctionnelle organique étant prévue entre celles-ci, laquelle électrode supérieure est formée sur la couche fonctionnelle organique avec une densité de puissance de dépôt de 4,5 à 9,0 W/cm2 à l'aide d'un procédé de pulvérisation cathodique magnétron.
(JA) 上部電極及び下部電極からなる一対の電極と、その間に設けられた有機機能層とを有する有機EL素子の製造方法であって、マグネトロンスパッタ法を用いて、4.5W/cm2以上、9.0W/cm2以下の成膜電力密度で、有機機能層上に上部電極を形成する。