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1. WO2013094517 - 弾性境界波装置及びその製造方法

公開番号 WO/2013/094517
公開日 27.06.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/082365
国際出願日 13.12.2012
IPC
H03H 9/145 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
H03H 3/08 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
08弾性表面波を用いる共振器または回路網の製造のためのもの
CPC
H03H 3/10
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
3Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
007for the manufacture of electromechanical resonators or networks
08for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
10for obtaining desired frequency or temperature coefficient
H03H 9/0222
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
0222of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
H03H 9/02992
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02535of surface acoustic wave devices
02992Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
H03H 9/14541
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
14538Formation
14541Multilayer finger or busbar electrode
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 三村 昌和 MIMURA, Masakazu
  • 西條 慎 SAIJOU, Shin
  • 佐治 真理 SAJI, Mari
代理人
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
優先権情報
2011-27925521.12.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) BOUNDARY ACOUSTIC WAVE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) DISPOSITIF À ONDES ACOUSTIQUES LIMITES ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 弾性境界波装置及びその製造方法
要約
(EN)
A boundary acoustic wave device is provided, wherein even if frequency adjustment is performed by etching a first dielectric layer, a first electrode layer is unlikely to break. In this boundary acoustic wave device (6), a first electrode layer (2) is formed on a piezoelectric body (1) and a second electrode layer (4) is formed on the first electrode layer (2) by being partially laminated, the first electrode (2) being formed to include an IDT electrode (2A) and a wiring electrode that extends from the IDT electrode (2A), the second electrode layer (4) is laminated on the first electrode layer (2) in a wiring electrode component area, a first dielectric layer (3) is formed so as to cover the IDT electrode (2A) but not cover the wiring electrode, a second dielectric layer (5) is laminated on the first dielectric layer (3), and the second electrode layer (4) is formed so as to be on an area that includes the wiring electrode component area and the ends of the first dielectric layer (3) that are close to the wiring electrode component area.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à ondes acoustiques limites, tel que même si l'ajustement de fréquence est effectué en gravant une première couche diélectrique, une première couche d'électrode n'est pas susceptible de se briser. Dans ce dispositif à ondes acoustiques limites (6), une première couche d'électrode (2) est formée sur un corps piézoélectrique (1) et une seconde couche d'électrode (4) est formée sur la première couche d'électrode (2) en étant partiellement stratifiée, la première électrode (2) étant formée pour inclure une électrode IDT (2A) et une électrode de circuit qui s'étend depuis l'électrode IDT (2A), la seconde couche d'électrode (4) est stratifiée sur la première couche d'électrode (2) dans une zone de composant d'électrode de circuit, une première couche diélectrique (3) est formée de manière à recouvrir l'électrode IDT (2A) mais sans recouvrir l'électrode de circuit, une seconde couche diélectrique (5) est stratifiée sur la première couche diélectrique (3), et la seconde couche d'électrode (4) est formée de manière à être sur une zone qui comprend la zone de composant d'électrode de circuit et les extrémités de la première couche diélectrique (3) qui sont proches de la zone de composant d'électrode de circuit.
(JA)
 第1の誘電体層をエッチングすることにより周波数調整が行われたとしても、第1の電極層の断線が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。 圧電体1上に第1の電極層2及び第1の電極層2上に部分的に積層された第2の電極層4が形成されており、第1の電極層2がIDT電極2AとIDT電極2Aに連なる配線電極に至るように形成されており、第2の電極層4が配線電極構成部分において第1の電極層2に積層されており、IDT電極を覆い、配線電極を覆わないように第1の誘電体層3が設けられており、第1の誘電体層3上に第2の誘電体層5が積層されており、第2の電極層4が、配線電極構成部分から配線電極構成部分に近い側の第1の誘電体層3の端部の上面に至るように形成されている、弾性境界波装置6。
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