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1. WO2013088927 - 圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータ

公開番号 WO/2013/088927
公開日 20.06.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/080148
国際出願日 21.11.2012
IPC
H01L 41/187 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
187セラミック組成物
C04B 35/493 2006.01
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
48酸化ジルコニウムまたは酸化ハフニウムまたはジルコニウム酸塩またはハフニウム酸塩を基とするもの
49酸化チタンまたはチタン酸塩を含むもの
491ジルコニウム酸鉛およびチタン酸鉛を基とするもの
493他の鉛化合物も含むもの
H01L 41/083 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
083積み重ねまたは多層構造をもつもの
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/107 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
107電気的入力および電気的出力をもつもの
H01L 41/22 2013.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
CPC
B32B 18/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
18Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
C04B 2235/3232
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
3232Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
C04B 2235/3244
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
3244Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
C04B 2235/3251
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
3251Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
C04B 2235/3279
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
3279Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
C04B 2235/3296
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3296Lead oxides, plumbates or oxide forming salts thereof, e.g. silver plumbate
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
  • 独立行政法人物質・材料研究機構 NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE [JP]/[JP]
発明者
  • 三輪 恭也 MIWA, Yasunari
  • 川田 慎一郎 KAWADA, Shinichiro
  • 木村 雅彦 KIMURA, Masahiko
  • 鈴木 達 SUZUKI, Tohru
  • 打越 哲郎 UCHIKOSHI, Tetsuo
  • 目 義雄 SAKKA, Yoshio
代理人
  • 岡田 全啓 OKADA, Masahiro
優先権情報
2011-27162512.12.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC ORIENTED CERAMIC AND PIEZOELECTRIC ACTUATOR
(FR) CÉRAMIQUE ORIENTÉE PIÉZOÉLECTRIQUE ET ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータ
要約
(EN)
Provided are: a piezoelectric oriented ceramic having a perovskite structure in the crystal phase, and having better piezoelectric properties, particularly a better electromechanical coupling coefficient (k) and a better piezoelectric d constant, than conventional piezoelectric oriented ceramics; and a piezoelectric actuator. A piezoelectric oriented ceramic and a piezoelectric actuator using this piezoelectric ceramic, said ceramic characterized by: the angle formed with a vibration direction being 30°-75° for at least one vibration mode among the vibration modes mainly used by the piezoelectric oriented ceramic, when the degree of orientation of a <100> axis in the perovskite structure, in the piezoelectric oriented ceramic having a perovskite structure, is calculated using the Lotgering method, and the normal direction for the cross-section having the highest degree of orientation in a prescribed cross-section of the piezoelectric ceramic, compared to the degree of orientation in other end surfaces, is used as the <100> orientation direction in the perovskite structure.
(FR)
La présente invention se rapporte à une céramique orientée piézoélectrique qui présente une structure pérovskite dans la phase cristalline et qui présente de meilleures propriétés piézoélectriques, particulièrement un meilleur coefficient de couplage électromécanique (k) et une meilleure constante (d) piézoélectrique que les céramiques orientées piézoélectriques classiques ; et à un actionneur piézoélectrique. L'invention porte sur une céramique orientée piézoélectrique et sur un actionneur piézoélectrique qui utilise cette céramique piézoélectrique, ladite céramique étant caractérisée par : l'angle formé avec une direction de vibration qui varie entre 30° et 75° pour au moins un mode de vibration parmi les modes de vibration utilisés surtout par la céramique orientée piézoélectrique lorsque le degré d'orientation d'un axe <100> dans la structure pérovskite, dans la céramique orientée piézoélectrique qui présente la structure pérovskite, est calculé à l'aide du procédé de Lotgering et la direction normale de la section transversale présentant le degré d'orientation le plus élevé dans une coupe transversale prescrite de la céramique piézoélectrique, par comparaison avec le degré d'orientation des autres surfaces d'extrémité, est utilisée comme étant la direction d'orientation <100> dans la structure pérovskite.
(JA)
 結晶相がペロブスカイト構造を有し、圧電特性、特に、電気機械結合係数kや圧電d定数が従来の圧電配向セラミックスよりも良好な圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータを提供する。 ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の端面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックス、およびこの圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータである。
他の公開
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