WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2013058064) 圧電素子およびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/058064    国際出願番号:    PCT/JP2012/074459
国際公開日: 25.04.2013 国際出願日: 25.09.2012
IPC:
H01L 41/09 (2006.01), B41J 2/045 (2006.01), B41J 2/055 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), H01L 21/8246 (2006.01), H01L 27/105 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/22 (2013.01)
出願人: Konica Minolta, Inc. [JP/JP]; 2-7-2, Marunouchi, Chiyoda-Ku, Tokyo 1007015 (JP)
発明者: EGUCHI Hideyuki; (JP)
代理人: SANO Shizuo; Tenmabashi-Yachiyo Bldg. Bekkan, 2-6, Tenmabashi-Kyomachi, Chuo-Ku, Osaka-Shi, Osaka 5400032 (JP)
優先権情報:
2011-229369 19.10.2011 JP
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
(JA) 圧電素子およびその製造方法
要約: front page image
(EN)A piezoelectric element (10) is configured by laminating a lower electrode (3) and a ferroelectric thin film (for example, a PZT thin film (4)) in this order on a substrate (1). The ferroelectric thin film is of perovskite type, and the crystal orientation thereof is a (100) preferred orientation. The lower electrode (3) is configured by laminating titanium oxide (a close adhesion layer (3a)) and platinum (an electrode layer (3b)) in this order from the substrate (1) side.
(FR)L'élément piézoélectrique (10) de l'invention est configuré par stratification, sur un substrat (1), et dans l'ordre d'une électrode de partie inférieure (3), et d'un film mince ferroélectrique (par exemple, un film mince de Pb, Zr, Ti et O (PZT) (4)). Le film mince ferroélectrique est de type pérovskite, et présente une orientation cristalline (100) constituant une orientation principale. L'électrode de partie inférieure (3) est configurée par stratification, à partir du côté substrat (1), et dans l'ordre, d'un oxyde de titane (couche d'adhésion (3a)), et d'un platine (couche d'électrode (3b)).
(JA) 圧電素子10は、基板1上に、下部電極3と、強誘電体薄膜(例えばPZT薄膜4)とをこの順で積層して構成される。強誘電体薄膜は、ペロブスカイト型であり、結晶配向が(100)主配向である。下部電極3は、基板1側から、酸化チタン(密着層3a)と白金(電極層3b)とをこの順で積層して構成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)