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1. (WO2013058050) 透明電極膜のクリーニング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/058050    国際出願番号:    PCT/JP2012/074068
国際公開日: 25.04.2013 国際出願日: 20.09.2012
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
出願人: IWATANI CORPORATION [JP/JP]; 6-4, Hommachi 3-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410053 (JP).
HEMMI Slide Rule Co., Ltd. [JP/JP]; 4, Kanda-Surugadai 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
発明者: KOIKE Kunihiko; (JP).
YOSHINO Yu; (JP).
SENOO Takehiko; (JP).
AZUMA Shuhei; (JP).
KATO Yuji; (JP)
代理人: SUZUE Shoji; Umeda East Building, 5-15, Taiyujicho, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300051 (JP)
優先権情報:
2011-230774 20.10.2011 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR CLEANING TRANSPARENT ELECTRODE FILM
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT DE NETTOYER UN FILM D'ÉLECTRODE TRANSPARENT
(JA) 透明電極膜のクリーニング方法
要約: front page image
(EN)The present invention is a method for cleaning a transparent electrode film which adheres to the inner surface of a chamber of a transparent conductive film-forming apparatus that produces a zinc oxide film as a transparent conductive film. A hydrogen-rich methyl chloride-hydrogen mixed gas atmosphere is formed within the chamber with use of a methyl chloride gas and a hydrogen gas, and a transparent electrode film adhering to the inner surface of the chamber is removed by generating plasma within the chamber that is in the methyl chloride-hydrogen mixed gas atmosphere.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé permettant de nettoyer un film d'électrode transparent qui adhère à la surface interne d'une chambre d'un appareil de formation de film conducteur transparent qui produit un film d'oxyde de zinc comme film conducteur transparent. Une atmosphère gazeuse mixte composée d'hydrogène et de chlorure de méthyle riche en hydrogène est formée dans la chambre en utilisant du chlorure de méthyle gazeux et de l'hydrogène gazeux, et un film d'électrode transparent qui adhère à la surface interne de la chambre est retiré par production de plasma dans la chambre qui se trouve dans l'atmosphère gazeuse mixte composée d'hydrogène et de chlorure de méthyle.
(JA) 透明導電膜として酸化亜鉛膜を生成する透明導電膜生成装置のチャンバー内面に付着した透明電極膜クリーニングする方法である。チャンバー内を塩化メチルガスと水素ガスとで水素リッチの塩化メチルー水素混合ガス雰囲気に形成し、この塩化メチルー水素混合ガス雰囲気にあるチャンバー内にプラズマを発生させてチャンバー内面に付着した透明電極膜を除去するようにした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)