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1. (WO2013054814) 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/054814    国際出願番号:    PCT/JP2012/076219
国際公開日: 18.04.2013 国際出願日: 10.10.2012
IPC:
G01B 11/25 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
発明者: AOKI, Hiroshi; (JP)
代理人: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2011-223956 11.10.2011 JP
発明の名称: (EN) SHAPE-MEASURING DEVICE, SYSTEM FOR MANUFACTURING STRUCTURES, SHAPE-MEASURING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURES, SHAPE-MEASURING PROGRAM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORMES, SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER DES STRUCTURES ET PROGRAMME DE MESURE DE FORMES
(JA) 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム
要約: front page image
(EN)The aim of the present invention is to measure shapes efficiently. A shape-measuring device is provided with: an imaging part for taking an image of an object to be measured; an irradiation part for irradiating measurement light from a projection direction which differs from the imaging direction of the imaging part, to form a prescribed light intensity distribution on the object to be measured; a reference-light generation part for generating reference light irradiated on the object to be measured; and a detection part for detecting the shape measurement coverage of the object to be measured, on the basis of the captured image taken by the imaging part when the reference light was projected onto the object to be measured.
(FR)La présente invention a pour objectif de mesurer efficacement des formes. Le dispositif de mesure de formes comporte : une partie d'imagerie pour prendre une image d'un objet à mesurer ; une partie d'irradiation pour irradier une lumière de mesure à partir d'une direction de projection, qui diffère de la direction d'imagerie de la partie d'imagerie, afin de former une distribution d'intensités lumineuses prescrite sur l'objet à mesurer ; une partie de génération de lumière de référence pour générer une lumière de référence, irradiée sur l'objet à mesurer ; et une partie de détection pour détecter la couverture de mesure de formes de l'objet à mesurer, sur la base de l'image capturée, prise par la partie d'imagerie au moment où la lumière de référence est projetée sur l'objet à mesurer.
(JA) 効率よく形状測定する。 測定対象を撮像する撮像部と、撮像部が撮像している方向と異なる方向の投影方向から、測定対象上に所定の光量分布が形成されるように測定光を照射する照射部と、測定対象に照射される参照光を生成する参照光生成部と、参照光が測定対象に投影された際に撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、測定対象の形状測定の対象範囲を検出する検出部とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)