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1. (WO2013054715) 走査型プローブ顕微鏡およびその制御方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/054715    国際出願番号:    PCT/JP2012/075688
国際公開日: 18.04.2013 国際出願日: 03.10.2012
IPC:
G01Q 60/32 (2010.01)
出願人: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP)
発明者: SAKAI, Nobuaki; (JP)
代理人: KURATA, Masatoshi; c/o SUZUYE & SUZUYE, 6th floor, Kangin-Fujiya Bldg. 1-3-2, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2011-227114 14.10.2011 JP
2011-227115 14.10.2011 JP
2012-105185 02.05.2012 JP
発明の名称: (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND CONTROL METHOD THEREFOR
(FR) MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡およびその制御方法
要約: front page image
(EN)A scanning probe microscope comprises a cantilever (12) having a probe (11) at a free end, a displacement detection unit (15) for outputting the displacement signal of the cantilever (12), a vibration excitation unit (14) for vibrating the cantilever (12), and a scanning unit (20) for three-dimensionally and relatively moving a sample (19) and the probe (11). A mixed signal generation unit (30) comprises an amplitude information detection unit (31) for supplying a vibration excitation signal to the vibration excitation unit (14) and generating an amplitude signal including information relating to the amplitude of the displacement signal, and a phase difference information detection unit (32) for generating a phase signal including information relating to the phase difference between the displacement signal and the vibration excitation signal, and adds the amplitude signal and the phase signal to generate a mixed signal. A controller (25) for controlling the scanning unit (20) includes a Z control unit (26), and the Z control unit (26) controls the distance between the sample (19) and the probe (11) on the basis of the mixed signal.
(FR)La présente invention porte sur un microscope à sonde de balayage qui comprend un porte-à-faux (12) ayant une sonde (11) à une extrémité libre, une unité de détection de déplacement (15) pour délivrer en sortie le signal de déplacement du porte-à-faux (12), une unité d'excitation de vibration (14) pour faire vibrer le porte-à-faux (12) et une unité de balayage (20) pour déplacer de manière tridimensionnelle et relative un échantillon (19) et la sonde (11). Une unité de génération de signal mélangé (30) comprend une unité de détection d'informations d'amplitude (31) pour fournir un signal d'excitation de vibration à l'unité d'excitation de vibration (14) et générer un signal d'amplitude comprenant des informations associées à l'amplitude du signal de déplacement, et une unité de détection d'informations de différence de phase (32) pour générer un signal de phase comprenant des informations associées à la différence de phase entre le signal de déplacement et le signal d'excitation de vibration, et ajoute le signal d'amplitude et le signal de phase pour générer un signal mélangé. Un contrôleur (25) pour commander l'unité de balayage (20) comprend une unité de commande Z (26) et l'unité de commande Z (26) commande la distance entre l'échantillon (19) et la sonde (11) sur la base du signal mélangé.
(JA) 走査型プローブ顕微鏡は、自由端に探針11をもつカンチレバー12と、カンチレバー12の変位信号を出力する変位検出部15と、カンチレバー12を振動させる加振部14と、試料19と探針11を三次元的に相対的に移動させる走査部20を有している。混成信号生成部30は、加振部14に加振信号を供給するとともに、変位信号の振幅の情報を含む振幅信号を生成する振幅情報検出部31と、変位信号と加振信号の位相差の情報を含む位相信号を生成する位相差情報検出部32を含み、振幅信号と位相信号を加算して混成信号を生成する。走査部20を制御するコントローラ25はZ制御部26を含み、Z制御部26は、混成信号に基づいて試料19と探針11の間の距離を制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)