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1. (WO2013054698) 基体処理システム用の基体搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/054698    国際出願番号:    PCT/JP2012/075533
国際公開日: 18.04.2013 国際出願日: 02.10.2012
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIROKI Tsutomu [JP/JP]; (JP) (US only)
発明者: HIROKI Tsutomu; (JP)
代理人: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2011-224996 12.10.2011 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE CARRIER DEVICE FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基体処理システム用の基体搬送装置
要約: front page image
(EN)This substrate carrier device is equipped with a chamber wall, a table, a linear motor carrier mechanism, an optical window, and a laser measuring instrument. The chamber wall defines a carrier space. The table is housed within the carrier space. It is possible for a substrate to be placed on the table. The linear motor carrier mechanism moves the table within the carrier space, by a linear motor. The optical window is disposed between the carrier space and the space to the outside of the carrier space. For example, the carrier window is disposed so as to seal off an opening defined in the chamber wall. The laser measuring instrument directs a laser beam through the optical window and towards the table, receives reflected light from the table, and measures the position of the table.
(FR)Selon un mode de réalisation, le dispositif de transport de substrat de l'invention est équipé : d'une paroi de chambre, d'un plateau, d'un mécanisme de transport à moteur linéaire, d'une fenêtre optique, et d'un appareil de mesure laser. La paroi de chambre définit un espace de transport. Le plateau est admis à l'intérieur de l'espace de transport. Un substrat peut être posé sur ce plateau. Le mécanisme de transport à moteur linéaire déplace le plateau, à l'intérieur de l'espace de transport, à l'aide d'un moteur linéaire. La fenêtre optique est agencée entre l'espace de transport et un espace extérieur à celui-ci, et par exemple, est agencée de manière à ce qu'une ouverture définie dans la paroi de chambre soit scellée. L'appareil de mesure laser mesure la position du plateau par irradiation à l'aide d'une lumière laser vers le plateau via la fenêtre optique, et réception d'une lumière réfléchie provenant du plateau.
(JA) 一実施形態の基体搬送装置は、チャンバ壁、テーブル、リニアモータ搬送機構、光学窓、及び、レーザ計測器を備える。チャンバ壁は、搬送空間を画成する。テーブルは、搬送空間内に収容されている。当該テーブル上には基体を載置可能である。リニアモータ搬送機構は、搬送空間内においてリニアモータによりテーブルを移動させる。光学窓は、搬送空間と当該搬送空間の外部空間との間に設けられている。例えば、光学窓は、チャンバ壁に画成された開口を封止するように設けられる。レーザ計測器は、光学窓を介してテーブルに向けてレーザ光を照射し、テーブルからの反射光を受けて、テーブルの位置を計測する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)