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1. (WO2013051595) 装置、X線照射方法、及び構造物の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/051595    国際出願番号:    PCT/JP2012/075615
国際公開日: 11.04.2013 国際出願日: 03.10.2012
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
発明者: WATANABE, Takashi; (JP)
代理人: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2011-220258 04.10.2011 JP
発明の名称: (EN) DEVICE, X-RAY IRRADIATION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR STRUCTURE
(FR) DISPOSITIF, PROCÉDÉ D'IRRADIATION DE RAYONS X ET PROCÉDÉ DE FABRICATION POUR STRUCTURE
(JA) 装置、X線照射方法、及び構造物の製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a device capable of suppressing reduction in detection precision. The device irradiates x-rays on an object and detects transmitted x-rays that have passed through the object. The device comprises: a chamber member forming a first space; and a first supply port arranged in the first space, and which supplies a temperature-adjusted gas to at least part of an x-ray source that irradiates x-rays on the object.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif apte à supprimer une réduction dans la précision de détection. Le dispositif irradie des rayons X sur un objet et détecte des rayons X émis qui sont passés à travers l'objet. Le dispositif comprend : un élément chambre formant un premier espace ; un premier orifice de distribution agencé sur le premier espace et qui distribue un gaz ajusté en température à au moins une partie d'une source de rayons X qui irradie des rayons X sur l'objet.
(JA) 検出精度の低下を抑制できる装置を提供する。 装置は、物体にX線を照射して物体を通過した透過X線を検出する。装置は、第1空間を形成するチャンバ部材と、第1空間に配置され、物体にX線を照射するX線源の少なくとも一部に温度調整された気体を供給する第1供給口と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)