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1. (WO2013051382) 形状測定装置及び形状測定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/051382    国際出願番号:    PCT/JP2012/073367
国際公開日: 11.04.2013 国際出願日: 12.09.2012
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
出願人: Konica Minolta, Inc. [JP/JP]; 2-7-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IDE, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UEHIRA, Masayoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKITANI, Toshiya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IDE, Yoshinori; (JP).
UEHIRA, Masayoshi; (JP).
TAKITANI, Toshiya; (JP)
代理人: HATTA & ASSOCIATES; Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
優先権情報:
2011-220483 04.10.2011 JP
発明の名称: (EN) SHAPE MEASURING DEVICE AND SHAPE MEASURING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定装置及び形状測定方法
要約: front page image
(EN)[Problem] To provide a shape measuring device that is capable of detecting, in a highly accurate manner, the relative position and orientation errors of an optical probe and stage, and measuring, in a highly accurate manner, the shape of a workpiece. [Solution] This shape measuring device comprises: a stage (10) having a mounting surface (11) upon which a workpiece (W) is mounted; an optical probe (20) for measuring the shape of the workpiece (W) mounted on the mounting surface (11), said optical probe having an orthogonal surface (21) that is orthogonal to an optical axis (L); a reference member (50) having a reference surface (51) that faces the mounting surface (11); first sensors (52, 53, 54) for detecting the slope of the mounting surface (11) relative to the reference surface (51), and the distance from the reference surface (51) to the mounting surface (11); and second sensors (55, 56, 57) for detecting the slope of the orthogonal surface (21) relative to the reference surface (51), and the distance from the reference surface (51) to the orthogonal surface (21).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme qui est capable de détecter très précisément la position relative et les erreurs d'orientation d'une sonde optique et d'une platine et de mesurer très précisément la forme d'une pièce à usiner. Le dispositif de mesure de forme comprend : une platine (10) possédant une surface de montage (11) sur laquelle une pièce à usiner (W) est montée; une sonde optique (20) servant à mesurer la forme de la pièce à usiner (W) montée sur la surface de montage (11), ladite sonde optique possédant une surface orthogonale (21) qui est orthogonale à un axe optique (L); un élément de référence (50) possédant une surface de référence (51) se trouvant en face de la surface de montage (11); des premiers capteurs (52, 53, 54) servant à détecter la pente de la surface de montage (11) par rapport à la surface de référence (51) et la distance entre la surface de référence (51) et la surface de montage (11); et des seconds capteurs (55, 56, 57) servant à détecter la pente de la surface orthogonale (21) par rapport à la surface de référence (51) et la distance entre la surface de référence (51) et la surface orthogonale (21).
(JA)【課題】光学式プローブとステージとの相対位置及び姿勢誤差を高精度に検出して、ワークの形状を高精度に測定することを可能にする形状測定装置を提供する。 【解決手段】本発明の形状測定装置は、ワークWが載置される載置面11を有するステージ10と、光軸Lに直交する直交面21を有し、載置面11に載置されたワークWの形状を測定する光学式プローブ20と、載置面11に対向する基準面51を有する基準部材50と、基準面51に対する載置面11の傾き及び基準面51から載置面11までの距離を検出する第1の検出部52,53,54と、基準面51に対する直交面21の傾き及び基準面51から直交面21までの距離を検出する第2の検出部55,56,57と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)