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1. (WO2013051068) 慣性センサ

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/051068    国際出願番号:    PCT/JP2011/005644
国際公開日: 11.04.2013 国際出願日: 07.10.2011
G01P 15/08 (2006.01), G01C 19/5783 (2012.01), G01P 15/125 (2006.01)
出願人: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKANO, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
GOTO, Yasushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKUBO, Chisaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMANAKA, Kiyoko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAITO, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKANO, Hideaki; (JP).
GOTO, Yasushi; (JP).
TAKUBO, Chisaki; (JP).
YAMANAKA, Kiyoko; (JP).
NAITO, Takashi; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
(JA) 慣性センサ
要約: front page image
(EN)In order to highly accurately control a gap between a movable portion (101) and a fixed electrode (201) in a sensor that detects an inertial force operating in the direction perpendicular to a substrate surface, the sensor has a structure wherein a conductor layer (131) and a cover (200) are bonded using fired glass films (300, 301), and a plurality of particles of a filler (302) are contained in the fired glass films. The structure makes it possible to control the gap by means of the particle diameter of the filler, and the inertial sensor having higher accuracy and lower cost can be provided.
(FR)Selon la présente invention, afin de commander de manière hautement précise un intervalle entre une partie mobile (101) et une électrode fixe (201) dans un capteur qui détecte une force inertielle mise en œuvre dans la direction perpendiculaire à une surface de substrat, le capteur a une structure dans laquelle une couche de conducteur (131) et une couverture (200) sont liées à l'aide de films de verre cuits (300, 301), et une pluralité de particules d'une charge (302) sont contenues dans les films de verre cuits. La structure rend possible de commander l'intervalle au moyen du diamètre de particule de la charge, et on peut fournir un capteur inertiel ayant une précision supérieure et un coût réduit.
(JA) 基板面に垂直な方向に働く慣性力を検出するセンサにおいて、可動部(101)と固定電極(201)の間のギャップ制御を高精度で行うため、導電体層(131)と蓋(200)をガラス焼成塗膜(300、301)で接合し、ガラス焼成塗膜内に複数のフィラー(302)を含む構造とする。係る構造により、当該ギャップをフィラーの粒径で制御することが可能となり、より高精度またはより安価な慣性センサを提供しうる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)