WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2013046780) Fe-Al系合金スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/046780    国際出願番号:    PCT/JP2012/061170
国際公開日: 04.04.2013 国際出願日: 26.04.2012
予備審査請求日:    05.09.2012    
IPC:
C23C 14/34 (2006.01)
出願人: JX Nippon Mining & Metals Corporation [JP/JP]; 6-3, Otemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008164 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HARADA Kentaro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HARADA Kentaro; (JP)
代理人: OGOSHI Isamu; OGOSHI International Patent Office, HATSUMEIKAIKAN 5F, 9-14, Toranomon 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2011-216687 30.09.2011 JP
発明の名称: (EN) Fe-Al BASED ALLOY SPUTTERING TARGET
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE EN ALLIAGE À BASE DE Fe-Al
(JA) Fe-Al系合金スパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)An Fe-Al alloy sputtering target characterized by having an Al content of 1 to 23at% and an oxygen content of up to 100wtppm with the balance being Fe and unavoidable impurities. The sputtering target can be produced by subjecting Fe and Al raw materials such that the Al content thereof is 1 to 23at% with the balance being Fe and unavoidable impurities to melting at a melting temperature of 1200 to 1600°C and an average temperature rise rate of 300°C/hr or more, casting the obtained melt, and subjecting the cast ingot to rolling and machining, with the provisos that: when the Al content is 15 to 23at%, the melting is conducted at a melting temperature of 1400 to 1600°C and an average temperature rise rate of 320°C/hr or more, or alternatively, at a melting temperature of 1200 to lower than 1400°C; when the Al content is 1 to 15% and the melting is conducted in an Ar atmosphere, the melting temperature is adjusted to 1200 to 1600°C with the average temperature rise rate adjusted to 300°C/hr or more; and when the Al content is 1 to 15% and the melting is conducted in the ambient atmosphere, the melting temperature is adjusted to 1200 to 1600°C with the average temperature rise rate adjusted to 320°C/hr or more.
(FR)L'invention porte sur une cible de pulvérisation cathodique en alliage de Fe-Al, caractérisée en ce qu'elle a une teneur en Al de 1 à 23 at% et une teneur en oxygène allant jusqu'à 100 ppm en poids, le reste étant du Fe et des impuretés inévitables. La cible de pulvérisation cathodique peut être produite par les opérations consistant à soumettre des matières premières à base de Fe et d'Al, de façon à ce que sa teneur en Al soit de 1 à 23 at%, le reste étant du Fe et des impuretés inévitables, à une fusion à une température de fusion de 1200 à 1600°C et une vitesse moyenne de montée en température supérieure ou égale à 300°C/h, couler la masse fondue obtenue et soumettre le lingot coulé à un laminage et un usinage, à condition que : lorsque la teneur en Al est de 15 à 23 at%, la fusion soit effectuée à une température de fusion de 1400 à 1600°C et une vitesse moyenne de montée en température supérieure ou égale à 320°C/h ou, en variante, à une température de fusion de 1200 à moins de 1400°C; lorsque la teneur en Al est de 1 à 15 % et la fusion est effectuée dans une atmosphère d'Ar, la température de fusion soit ajustée à 1200 à 1600°C, la vitesse moyenne de montée en température étant ajustée à 300°C/h ou plus; et lorsque la teneur en Al est de 1 à 15 % et la fusion est effectuée dans l'atmosphère ambiante, la température de fusion soit ajustée à 1200 à 1600°C, la vitesse moyenne de montée en température étant ajustée à 320°C/h ou plus.
(JA)Al含有量が1~23at%、酸素含有量が100wtppm以下、残余がFe及び不可避的不純物であることを特徴とするFe-Al合金スパッタリングターゲット。Alが1~23at%、残余がFe及び不可避的不純物であるFe原料及びAl原料を、溶解温度を1200~1600°C、平均昇温速度を300°C/時以上として溶解し(但し、Alが15~23at%の場合は、溶解温度を1400~1600°Cの範囲で、かつ平均昇温速度を320°C以上とするか、又は溶解温度を1200°C~1400°C未満で溶解する。Alが1~15%、かつAr雰囲気で溶解する場合は、溶解温度を1200~1600°Cの範囲で、平均昇温速度を300°C/時以上とする。Alが1~15%、かつ大気雰囲気で溶解する場合は、溶解温度を1200~1600°Cの範囲で、平均昇温速度を320°C/時以上とする。)、これを鋳造した後に、圧延及び機械加工する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)