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1. (WO2013046283) 可動部を有する電気機器とその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/046283    国際出願番号:    PCT/JP2011/005550
国際公開日: 04.04.2013 国際出願日: 30.09.2011
IPC:
H01H 59/00 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01)
出願人: FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588 (JP) (米国を除く全ての指定国).
INOUE, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MI, Xiaoyu [CN/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: INOUE, Hiroaki; (JP).
MI, Xiaoyu; (JP)
代理人: TAKAHASHI, Keishiro; TAKAHASHI & KITAYAMA 6th Fl., New Jied Bldg., 3-22-8, Ueno, Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ELECTRIC EQUIPMENT WITH MOVING PART AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) ÉQUIPEMENT ÉLECTRIQUE DOTÉ D'UNE PARTIE MOBILE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 可動部を有する電気機器とその製造方法
要約: front page image
(EN)[Problem] To construct electric equipment that has a warp-inhibited moving part. [Solution] At least one pedestal section and a counter electrode are formed, by means of plating, adjacent to a first space region on a first seed layer formed above a substrate, said pedestal section being made of a second metallic material. The first space region is filled with a first sacrificial layer. By using the same resist pattern, a second sacrificial layer is formed with a metallic material so as to extend from above the first sacrificial layer to a portion of the surface of the pedestal section, and a lower structure is formed with a third metallic material, by means of continuous plating, on the second sacrificial layer, said third metallic material having a composition and a thermal expansion coefficient equivalent to those of the second metallic material. The surface portion of the pedestal section where the second sacrificial layer is not formed is exposed, and an upper structure is formed with a fourth metallic material over the pedestal section and the lower structure by means of plating, said fourth metallic material having a composition and a thermal expansion coefficient equivalent to those of the second metallic material and the third metallic material. Then, the first sacrificial layer and the second sacrificial layer are removed in order to create the electric equipment with the moving part.
(FR)L'objet de la présente invention est de construire un équipement électrique qui est doté d'une partie mobile interdisant le gauchissement. Selon la présente invention, au moins une section de pied et une contre-électrode sont formées au moyen d'un placage, adjacent à une première région d'espace sur une première couche de germe qui est formée au-dessus d'un substrat, ladite section de pied étant constituée d'un deuxième matériau métallique. La première région d'espace est remplie avec une première couche sacrificielle. En utilisant le même motif de résist, une seconde couche sacrificielle est constituée d'un matériau métallique de manière à s'étendre depuis le dessus de la première couche sacrificielle jusqu'à une portion de la surface de la section de pied, et une structure inférieure est constituée d'un troisième matériau métallique, au moyen d'un placage continu, sur la seconde couche sacrificielle, ledit troisième matériau métallique étant doté d'une composition et d'un coefficient de dilatation thermique équivalent à ceux du deuxième matériau métallique. La portion de surface de la section de pied où la seconde couche sacrificielle n'est pas formée est exposée et une structure supérieure est constituée d'un quatrième matériau métallique au-dessus de la section de pied et de la structure inférieure au moyen d'un placage, ledit quatrième matériau métallique étant doté d'une composition et d'un coefficient de dilatation thermique équivalant à ceux du deuxième matériau métallique et du troisième matériau métallique. Par la suite, la première couche sacrificielle et la seconde couche sacrificielle sont retirées afin de créer l'équipement électrique doté de la partie mobile.
(JA)【課題】 反りを抑制した可動部を有する電気機器を形成する。 【解決手段】 基板上に形成した第1シード層上、第1空間領域に隣接して、第2金属材料のすくなくとも1つの台座部、対向電極をメッキで形成し、第1空間領域を第1犠牲層で埋め、同一レジストパターンを用いて、第1犠牲層上から台座部表面の一部に延在する金属材料の第2犠牲層、第2犠牲層上に第2金属材料と同等の組成、熱膨張係数を有する第3金属材料の下部構造体を連続メッキで形成し、第2犠牲層を形成しなかった台座部表面を露出し、台座部、下部構造体の上に第2金属材料、第3金属材料と同等の組成、熱膨張係数を有する第4金属材料の上部構造体をメッキで形成し、第1犠牲層、第2犠牲層を除去して、可動部を有する電気機器を作成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)