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1. (WO2013042679) 照明光学装置、光学系ユニット、照明方法、並びに露光方法及び装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/042679    国際出願番号:    PCT/JP2012/073897
国際公開日: 28.03.2013 国際出願日: 19.09.2012
IPC:
H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
発明者: KOMATSUDA Hideki; (JP)
代理人: OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014 (JP)
優先権情報:
61/536,201 19.09.2011 US
発明の名称: (EN) ILLUMINATING OPTICAL DEVICE, OPTICAL SYSTEM UNIT, ILLUMINATION METHOD, AND LIGHT EXPOSURE METHOD AND DEVICE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE ÉCLAIRANT, UNITÉ DE SYSTÈME OPTIQUE, PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE, ET PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION À LA LUMIÈRE
(JA) 照明光学装置、光学系ユニット、照明方法、並びに露光方法及び装置
要約: front page image
(EN)An illumination device for illuminating a reticle surface as a surface to be irradiated with illumination light supplied from a light source, the illumination device comprising: a light-polarizing element which is disposed in the optical path of the illumination light supplied from the light source, has a first fast axis in a direction intersecting an optical axis, and has a first optical path length distribution within a plane that intersects the optical axis; and a wavelength plate which is disposed in the optical path of light having passed through the light-polarizing element and has a second fast axis having a different direction than the first fast axis. The surface to be irradiated can be illuminated with light in a plurality of polarized states without the use of optical rotation.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'éclairage permettant d'éclairer une surface de réticule servant de surface à irradier avec une lumière d'éclairage fournie par une source de lumière, le dispositif d'éclairage comprenant : un élément de polarisation de lumière qui est disposé dans le chemin optique de la lumière d'éclairage fournie par la source de lumière, a un premier axe rapide dans une direction croisant un axe optique, et a une première distribution de longueur de chemin optique dans un plan qui croise l'axe optique ; et une plaque de longueur d'onde qui est disposée dans le chemin optique de lumière ayant traversé l'élément de polarisation de lumière et a un second axe rapide ayant une direction différente du premier axe rapide. La surface à irradier peut être éclairée par la lumière dans une pluralité d'états polarisés sans l'usage de rotation optique.
(JA) 光源から供給される照明光で被照射面としてのレチクル面を照明する照明装置であって、光源から供給される照明光の光路に配置されるとともに、光軸に交差する方向に第1進相軸を有し、その光軸に交差する面内で第1の光路長分布を有する偏光素子と、その偏光素子を通過した光の光路に配置されるとともに、その第1進相軸と方向が異なる第2進相軸を有する波長板とを備える。旋光性を利用することなく、複数の偏光状態の光で被照射面を照明できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)