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1. (WO2013042467) プローブ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/042467    国際出願番号:    PCT/JP2012/069923
国際公開日: 28.03.2013 国際出願日: 30.07.2012
予備審査請求日:    18.07.2013    
IPC:
G01R 31/28 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: Tokyo Electron Limited [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHINOHARA Eiichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAOKA Ken [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHINOHARA Eiichi; (JP).
TAOKA Ken; (JP)
代理人: BECCHAKU Shigehisa; Matsuoka Tamuracho Bldg. 7th Floor, 22-10, Shinbashi 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004 (JP)
優先権情報:
2011-225335 22.09.2011 JP
発明の名称: (EN) PROBE APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CONTRÔLE
(JA) プローブ装置
要約: front page image
(EN)Provided is a probe apparatus, which is capable of measuring, at the wafer level, both the static characteristics and the dynamic characteristics of power devices, said probe apparatus being especially capable of reliably measuring, at the wafer level, the dynamic characteristics of the power devices without being affected by a measuring line used for the static characteristic measurement. A probe apparatus (10) of the present invention is provided with: a movable placing table (12) having a wafer (W) placed thereon, said wafer having a plurality of power devices formed thereon; a probe card (14), which is disposed above the placing table (12), and has a plurality of probes (14A); a conductor film electrode (13), which is formed on the placing surface and an outer circumferential surface of the placing table (12); and a measuring line (16), which electrically connects the conductor film electrode (13) and a tester (17) with each other. The probe apparatus measures, at the wafer level, the electrical characteristics of the power devices on the placing table (12). The second measuring line (16) is provided with a switch mechanism (18) that opens/closes, between the conductor film electrode (13) and the tester (17), an electric path of the measuring line (16).
(FR)La présente invention concerne un appareil de contrôle qui est capable de mesurer, au niveau d'une plaquette, à la fois les caractéristiques statiques et les caractéristiques dynamiques de dispositifs de puissance, ledit appareil de contrôle étant en particulier capable de mesurer de manière fiable, au niveau d'une plaquette, les caractéristiques dynamiques des dispositifs de puissance sans être affecté par une ligne de mesure utilisée pour la mesure des caractéristiques statiques. L'appareil de contrôle (10) selon la présente invention comprend : une table de placement mobile (12) sur laquelle une plaquette (W) est placée, une pluralité de dispositifs de puissance étant formée sur ladite plaquette ; une carte de sonde (14) qui est disposée au-dessus de la table de placement (12) et qui comporte une pluralité de sondes (14A) ; une électrode à film conducteur (13) qui est formée sur la surface de placement et une surface circonférentielle externe de la table de placement (12) ; et une ligne de mesure (16) qui connecte électriquement l'électrode à film conducteur (13) à un appareil d'essai (17). L'appareil de contrôle mesure, au niveau de la plaquette, les caractéristiques électriques des dispositifs de puissance se trouvant sur la table de placement (12). La seconde ligne de mesure (16) est dotée d'un mécanisme de commutation (18) qui ouvre/ferme, entre l'électrode à film conducteur (13) et l'appareil d'essai (17), un passage électrique de la ligne de mesure (16).
(JA)パワーデバイスの静特性及び動特性の双方をウエハレベルで測定することができ、特に静特性に使用される測定ラインに影響されることなく、パワーデバイスの動特性をウエハレベルで確実に測定することができるプローブ装置を提供する。本発明のプローブ装置10は、複数のパワーデバイスが形成されたウエハWを載置する移動可能な载置台12と、載置台12の上方に配置された複数のプローブ14Aを有するプローブカード14と、載置台12の載置面とその外周面に形成された導体膜電極13と、導体膜電極13とテスタ17とを電気的に接続する測定ライン16と、を備え、載置台12上のパワーデバイスの電気的特性をウエハレベルで測定するプローブ装置であって、第2の測定ライン16には、導体膜電極13とテスタ17の間で測定ライン16の電路を開閉するスイッチ機構18を設けたものである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)