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1. (WO2013039240) 照明光学装置、光学系ユニット、照明方法、並びに露光方法及び装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2013/039240 国際出願番号: PCT/JP2012/073745
国際公開日: 21.03.2013 国際出願日: 14.09.2012
IPC:
H01L 21/027 (2006.01)
出願人: KOMATSUDA Hideki[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIKON CORPORATION[JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
発明者: KOMATSUDA Hideki; JP
代理人: OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014, JP
優先権情報:
61/535,65416.09.2011US
発明の名称: (EN) ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, OPTICAL UNIT, ILLUMINATION METHOD, AND EXPOSURE METHOD AND DEVICE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, UNITÉ OPTIQUE, PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE, AINSI QUE PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 照明光学装置、光学系ユニット、照明方法、並びに露光方法及び装置
要約: front page image
(EN) An illumination device for illuminating a reticle surface as a target irradiated surface by illumination light supplied from a light source is provided with: a first polarized light beam splitter that separates a first light flux and a second light flux that intersect in the mutual light polarization directions from the illumination light, a deformable mirror that is located in the light path of the second light flux and can deform the shape of the reflective surface in order to change the phase difference distribution between the first light flux and the second light flux, and a second polarized light beam splitter that combines the first light flux and the second light flux that provide the phase difference distribution. The target irradiated surface can be illuminated by light having the distribution of various polarized light states.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'éclairage destiné à éclairer une surface de réticule en tant que surface éclairée cible, par une lumière d'éclairage fournie par une source lumineuse, le dispositif d'éclairage comprenant : un premier diviseur de faisceau lumineux polarisé qui, à partir de la lumière d'éclairage, sépare un premier flux lumineux et un second flux lumineux qui se coupent dans leurs directions de polarisation lumineuse respectives ; un miroir déformable qui est situé dans le trajet lumineux du second flux lumineux et qui peut modifier la forme de la surface réfléchissante afin de modifier la distribution de la différence de phase entre le premier flux lumineux et le second flux lumineux ; et un second diviseur de faisceau lumineux polarisé qui combine le premier flux lumineux et le second flux lumineux pour donner la distribution de différence de phase. La surface éclairée cible peut être éclairée par une lumière ayant la distribution de différents états de polarisation.
(JA)  光源から供給される照明光で被照射面としてのレチクル面を照明する照明装置であって、照明光から互いに偏光方向が直交する第1光束及び第2光束を分離する第1の偏光ビームスプリッターと、第2光束の光路に配置されて、第1光束及び第2光束の間の位相差分布を変えるために反射面の形状が可変のデフォーマブルミラーと、位相差分布が与えられた第1光束及び第2光束を合成する第2の偏光ビームスプリッターと、を備える。様々な偏光状態の分布を持つ光で被照射面を照明できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)