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1. (WO2013038956) ガス検知システム及びガス検知方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/038956    国際出願番号:    PCT/JP2012/072477
国際公開日: 21.03.2013 国際出願日: 04.09.2012
IPC:
G01M 3/00 (2006.01)
出願人: Tokyo Electron Limited [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MATSUMOTO, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MATSUMOTO, Kenji; (JP)
代理人: ITOH, Tadashige; 16th Floor, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Seimei Building), 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2011-203523 16.09.2011 JP
発明の名称: (EN) GAS-DETECTION SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING GAS
(FR) SYSTÈME DE DÉTECTION DE GAZ ET SON PROCÉDÉ
(JA) ガス検知システム及びガス検知方法
要約: front page image
(EN)Provided is a gas-detection system characterized in being provided with an airtight housing for internally accommodating a device for at least supplying, using, or exhausting a first gas, a second gas-supply line connected to the housing and adapted for supplying into the housing a second gas that does not react with the first gas, an exhaust line for exhausting the interior of the housing, and a gas detector connected to the exhaust line via a sampling tube and capable of detecting the first gas.
(FR)Système de détection de gaz caractérisé en ce qu'il comprend : un logement étanche à l'air renfermant un dispositif qui au moins fournit, utilise ou évacue un premier gaz ; une seconde canalisation d'amenée de gaz qui est reliée au logement et qui est prévue pour introduire dans ce logement un second gaz ne réagissant pas avec le premier gaz ; une canalisation d'échappement qui évacuer l'intérieur du logement ; et un détecteur de gaz relié à la canalisation d'échappement via un tube d'échantillonnage et pouvant détecter le premier gaz.
(JA) 内部にて第1のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器を収納した、気密性を有する筐体と、前記筐体に接続されており、前記第1のガスに対して反応性のない第2のガスを前記筐体内に供給する第2のガス供給ラインと、前記筐体内を排気する排気ラインと、前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されており、前記第1のガスを検知することが可能なガス検知器と、を備えることを特徴とするガス検知システムを提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)