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1. (WO2013035847) 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035847    国際出願番号:    PCT/JP2012/072913
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 07.09.2012
IPC:
G01B 11/25 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AOKI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOKI, Hiroshi; (JP)
代理人: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2011-196865 09.09.2011 JP
発明の名称: (EN) SHAPE MEASUREMENT DEVICE, STRUCTURE MANUFACTURING SYSTEM, SHAPE MEASUREMENT METHOD, STRUCTURE MANUFACTURING METHOD, SHAPE MEASUREMENT PROGRAM, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME, SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE, PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE, PROGRAMME DE MESURE DE FORME ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体
要約: front page image
(EN)An objective of the present invention is to assess whether blurring is present in a captured image for measuring a subject shape to be measured. A shape measurement device comprises: an image capture unit which generates a captured image which captures the subject to be measured; an illumination unit which shines upon the subject to be measured an illumination light which has a prescribed intensity distribution from a direction different form the direction which the image capture unit captures the image such that the image which is captured by the image capture unit is captured as an image in which a lattice pattern is projected upon the subject to be measured; a feature value computation unit which computes a feature value from the captured image which denotes the degree of blurring which is present in the captured image; and an assessment unit which assesses whether blurring is present in the captured image on the basis of the feature value.
(FR)Un objectif de la présente invention est d'évaluer la présence ou non d'un flou dans une image capturée dans le but de mesurer une forme d'objet à mesurer. Selon l'invention, un dispositif de mesure de forme comprend : une unité de capture d'image qui génère une image capturée qui capture l'objet à mesurer; une unité d'éclairage qui éclaire l'objet à mesurer avec une lumière d'éclairage qui a une répartition d'intensité prescrite depuis une direction différente de la direction suivant laquelle l'unité de capture d'image capture l'image de sorte que l'image qui est capturée par l'unité de capture d'image est capturée en tant qu'image dans laquelle un motif de grille est projeté sur l'objet à mesurer; une unité de calcul de valeur de caractéristique qui calcule une valeur de caractéristique à partir de l'image capturée qui révèle le degré de flou présent dans l'image capturée; et une unité d'évaluation qui évalue la présence ou non d'un flou dans l'image capturée en se basant sur la valeur de la caractéristique.
(JA) 測定対象の形状を測定するための撮像画像に、ブレが存在するか否かを判定する。 測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、撮像部によって撮像された画像が、前記測定対象に格子パターンが投影された画像として撮像されるように、撮像部が撮像している方向と異なる方向から、前記測定対象に所定の強度分布を有する照明光を照射する照射部と、撮像画像から、撮像画像に存在するブレの度合いを示す特徴量を算出する特徴量算出部と、特徴量に基づいて、撮像画像にブレが存在するか否かを判定する判定部と、を備えることを特徴とする形状測定装置。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)