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1. (WO2013035759) 剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035759    国際出願番号:    PCT/JP2012/072654
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 05.09.2012
IPC:
B29C 59/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: SCIVAX CORPORATION [JP/JP]; Kanagawa Sciencepark East 502, 3-2-1, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2130012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWAGUCHI Hirosuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANIGUCHI Yutaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA Satoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWAGUCHI Hirosuke; (JP).
TANIGUCHI Yutaka; (JP).
TANAKA Satoru; (JP)
代理人: OKUDA Noritsugu; 1-2354-430, Yurigaoka, Moriya-shi Ibaraki 3020110 (JP)
優先権情報:
2011-194168 06.09.2011 JP
発明の名称: (EN) FLUID PRESSURE IMPRINTING DEVICE PROVIDED WITH RIGID STAGE, AND PRESSURIZING STAGE
(FR) DISPOSITIF D'IMPRESSION À PRESSION DE FLUIDE ÉQUIPÉE D'UN PLATEAU RIGIDE, ET PLATEAU DE PRESSION
(JA) 剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ
要約: front page image
(EN)Provided are a fluid pressure imprinting device capable of improving the flatness of a surface to be molded, and a stage for use therein. An imprinting device for transferring the mold pattern of a mold (1) to an object to be molded (2) by the fluid pressure in a pressurizing chamber (30) in a pressurizing unit (3) is configured from a pressurizing chamber housing (33) which constitutes part of the pressurizing chamber (30), a pressurizing stage (31) which comprises a rigid member (311) for pressurizing the mold (1) and the object to be molded (2), and a sealing member (312) disposed between the pressurizing chamber housing (33) and the rigid member (311) to seal the pressurizing chamber (30), and a pressure receiving stage (32) which supports the mold (1) and the object to be molded (2) that have received the pressure of the pressurizing stage (31), and a pressurizing means (35) which adjusts the fluid pressure in the pressurizing chamber (30).
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'impression à pression de fluide apte à améliorer la planéité d'une surface à mouler, et sur un plateau destiné à y être utilisé. Un dispositif d'impression destiné à transférer le motif de moule d'un moule (1) à un objet à mouler (2) par la pression du fluide dans une chambre de pression (30) dans une unité de pression (3) est constitué sur la base d'une boîte de chambre de pression (33) qui constitue une partie de la chambre de pression (30), d'un plateau de pression (31) qui comprend un élément rigide (311) destiné à mettre sous pression le moule (1) et l'objet à mouler (2), d'un élément d'étanchéité (312) disposé entre le boîtier de la chambre de pression (33) et l'élément rigide (311) pour fermer la boîte de la chambre de pression (33), d'un plateau de réception de la pression (32) qui supporte le moule (1) et l'objet à mouler (2) qui ont reçu la pression du plateau de pression (31), et d'un moyen de pression (35) qui règle la pression du fluide dans la chambre de pression (30).
(JA) 被成形面の平面度を改善可能な流体圧インプリント装置及びそれに用いるステージを提供する。加圧部3における加圧室30内の流体圧によって型1の成型パターンを被成形物2に転写するインプリント装置であって、加圧室30の一部を構成する加圧室用筐体33と、型1と被成形物2を加圧するための剛体部材311と加圧室用筐体33と剛体部材311との間に配置され加圧室30を密閉する密閉部材312を有する加圧ステージ31と、加圧ステージ31の圧力を受けた型1および被成形物2を支持する受圧ステージ32と、加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、で構成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)