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1. (WO2013035696) 基板搬送装置及び基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035696    国際出願番号:    PCT/JP2012/072466
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 04.09.2012
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KIUCHI Tohru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KATO Masaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KIUCHI Tohru; (JP).
KATO Masaki; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2011-193244 05.09.2011 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及び基板処理装置
要約: front page image
(EN)This substrate transfer apparatus is provided with: a transfer unit, which transfers a strip-shaped substrate having a circuit pattern formed thereon, said circuit pattern including repeated pattern portions at a predetermined cycle; a position detector which outputs, during a time when the substrate is being transferred by means of the transfer unit, detection signals at least at two areas in the direction that intersects the transfer direction of the substrate, said detection signals corresponding to the repeated pattern portions in the circuit pattern; a calculating apparatus, which calculates, on the basis of detection results obtained from the position detector, information relating to deformation and/or positional shift of the substrate; and a control system for correction, which corrects the deformation and/or positional shift of the substrate on the basis of results calculated by means of the calculating apparatus.
(FR)La présente invention porte sur un appareil de transfert de substrat qui comporte : une unité de transfert, qui transfère un substrat en forme de bande ayant un motif de circuit formé sur celui-ci, ledit motif de circuit comprenant des parties de motif répétées à un cycle prédéterminé; un détecteur de position qui délivre en sortie, durant un temps où le substrat est transféré au moyen de l'unité de transfert, des signaux de détection au moins à deux zones dans la direction qui coupe la direction de transfert du substrat, lesdits signaux de détection correspondant aux parties de motif répétées dans le motif de circuit; un appareil de calcul, qui calcule, sur la base de résultats de détection obtenus à partir du détecteur de position, des informations relatives à une déformation et/ou un décalage de position du substrat; et un système de commande pour correction, qui corrige la déformation et/ou le décalage de position du substrat sur la base de résultats calculés au moyen de l'appareil de calcul.
(JA) 基板搬送装置は、所定周期の繰返しパターン部を含む回路用パターンが形成された帯状の基板を搬送する搬送部と、搬送部によって基板を搬送する間、基板の搬送方向と交差する方向における少なくとも2箇所において、回路パターン内の繰返しパターン部に対応する検出信号を出力する位置検出器と、位置検出器の検出結果に基づいて、基板の変形又は位置ずれの少なくとも一方に関する情報を算出する算出装置と、算出装置で算出された結果に基づいて、基板の変形又は位置ずれの少なくとも一方を補正する補正用制御系とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)