WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2013035421) 領域決定装置、観察装置または検査装置、領域決定方法および領域決定方法を用いた観察方法または検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035421    国際出願番号:    PCT/JP2012/067419
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 09.07.2012
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAGAKI Ryo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRAI Takehiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OBARA Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAGAKI Ryo; (JP).
HIRAI Takehiro; (JP).
OBARA Kenji; (JP)
代理人: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2011-194506 07.09.2011 JP
発明の名称: (EN) REGION SETTING DEVICE, OBSERVATION DEVICE OR INSPECTION DEVICE, REGION SETTING METHOD, AND OBSERVATION METHOD OR INSPECTION METHOD USING REGION SETTING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RÉGLAGE DE RÉGION, DISPOSITIF D'OBSERVATION OU DISPOSITIF D'INSPECTION, PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE RÉGION, ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION OU PROCÉDÉ D'INSPECTION UTILISANT LE PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE RÉGION
(JA) 領域決定装置、観察装置または検査装置、領域決定方法および領域決定方法を用いた観察方法または検査方法
要約: front page image
(EN)The present invention efficiently sets a partial region for which high-sensitivity inspection or high-precision measurement is required. A region setting device comprises: a computation unit that computes a defect occurrence rate on the basis of at least multiple types of defect attribute information from defect data that contains an image that captures a defect position on a sample, said defect position obtained by inspecting the sample, or that captures a defect position on the sample, said defect position predicted to have a likelihood of defect occurrence; and a region setting unit that extracts defect data having an occurrence rate of at least a specified value, and from said extracted defect data, sets a region on the sample to be observed or inspected.
(FR)La présente invention règle efficacement une région partielle pour laquelle une inspection à haute sensibilité ou une mesure de haute précision est nécessaire. Un dispositif de réglage de région comprend : une unité de calcul qui calcule une fréquence d'apparition de défauts sur la base au moins de multiples types d'informations d'attributs de défauts à partir de données de défauts que contiennent une image qui capture une position de défaut sur un échantillon, ladite position de défaut étant obtenue par inspection de l'échantillon, ou qui capture une position de défaut sur l'échantillon, ladite position de défaut étant prédite comme ayant une probabilité d'apparition de défauts ; et une unité de réglage de région qui extrait des données de défauts ayant un taux d'apparition au moins égal à une valeur spécifiée, et à partir desdites données de défauts extraites, règle une région sur l'échantillon à observer ou à inspecter.
(JA) 高感度検査や高精度計測を行うことが必要な部分領域を、効率的に決定する。 領域決定装置は、試料を検査して得た試料上の欠陥位置あるいは試料上において欠陥が発生する可能性があると予測された欠陥位置を撮像した画像を含む欠陥データの、少なくとも複数種の欠陥属性情報に基づき欠陥の発生度合いを算出する算出部と、発生度合いが所定以上となる欠陥データを抽出し、該抽出された欠陥データから観察または検査を行う試料上の領域を決定する領域決定部と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)