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1. (WO2013035411) エミッタ、ガス電界電離イオン源、およびイオンビーム装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035411    国際出願番号:    PCT/JP2012/065676
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 20.06.2012
IPC:
H01J 27/26 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWANAMI Yoshimi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORITANI Hironori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MUTO Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWANAMI Yoshimi; (JP).
MORITANI Hironori; (JP).
MUTO Hiroyuki; (JP)
代理人: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2011-192272 05.09.2011 JP
発明の名称: (EN) EMITTER, GAS FIELD IONIZATION ION SOURCE, AND ION BEAM DEVICE
(FR) ÉMETTEUR, SOURCE D'IONS D'IONISATION DE CHAMP DE GAZ ET DISPOSITIF DE FAISCEAU D'IONS
(JA) エミッタ、ガス電界電離イオン源、およびイオンビーム装置
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide an emitter in which there is no ion extraction voltage fluctuation such that the axis adjustment of an ion optical system is needed even if regeneration treatment of an apex part is repeated, a gas field ionization ion source using the same, and an ion beam device. This emitter (1) used in a gas field ionization ion source comprises a base part produced from single crystal metal, and a needle-shaped leading end part (1-1), the leading end part is formed in a triangular pyramid shape with a single atom as an apex (1-2), and an upper surface end part (1-4) when the leading end part is viewed from the apex side is formed in an approximately hexagonal shape.
(FR)La présente invention vise à fournir un émetteur dans lequel il n'y a pas de fluctuation de tension d'extraction d'ions de telle sorte que l'ajustement d'axe d'un système optique ionique est nécessaire même si un traitement de régénération d'une partie de sommet est répété, une source d'ions d'ionisation de champ de gaz utilisant celui-ci et un dispositif de faisceau d'ions. L'émetteur de la présente invention (1) utilisé dans une source d'ions d'ionisation de champ de gaz comprend une partie de base produite à partir d'un métal monocristallin et une partie d'extrémité avant en forme d'aiguille (1-1), la partie d'extrémité avant est formée dans une forme de pyramide triangulaire ayant un seul atome en tant que sommet (1-2) et une partie d'extrémité de surface supérieure (1-4) lorsque la partie d'extrémité avant est observée depuis le côté sommet est formée dans une forme approximativement hexagonale.
(JA) 本発明は、頂点部分の再生処理を繰り返し行ってもイオン光学系の軸調整が必要な程度のイオン引出電圧の変動が無いエミッタ、およびそれを用いたガス電界電離イオン源、イオンビーム装置を提供することを目的とする。 本発明に係るガス電界電離イオン源に用いるエミッタ(1)は、単結晶金属の基部と、針状の先端部(1-1)とを有し、先端部を単原子を頂点(1-2)とする三角錐形状として、かつ先端部を頂点側から見た上面端部(1-4)の形状を略六角形とした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)